판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30094 #9026410

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30094는 건식 에칭, 증착 및 산화와 같은 기질 처리 응용을 위해 설계된 정밀 원자로입니다. AMAT 0010-30094는 특별히 설계된 듀얼 스테이지 진공실을 사용하며, 2 개의 독립적 인 진공 펌프가 장착되어 매우 높은 진공을 달성합니다. 이 효과는 비교할 수없는 결과를 가진 균일하고 정확한 프로세스 환경입니다. 550mm 직경의 챔버는 전체 기판을 따라 균일 한 처리를 통해 균형 잡힌 선형 에너지 분포를 갖습니다. 이것은 전체 웨이퍼에서 더 높은 에치 레이트와 더 나은 균일 성을 허용합니다. 또한, 챔버에는 프로세스 온도를 정확하고 효과적으로 제어하기 위해 임베디드 냉각 장비 (Embedded Cooling Equipment) 가 장착되어 있습니다. 응용 재료 0010-30094 (APPLIED MATERIALS 0010-30094) 는 듀얼 스테이지 진공실 외에도 다양한 처리 요구에 맞는 다양한 옵션 구성 요소를 갖추고 있습니다. "가스 '전달" 시스템' 을 설치 하여 "가스 '를 약실 로 공급 하고 압력 과 유속 을 감시 할 수 있다. 이렇게 하면, 공정 의 각 단계 가 적절 한 화학 환경 하 에서 이루어지게 된다. 자동 웨이퍼 전송 장치를 구현하여 기판을 로드하고 언로드할 수도 있습니다. 이 기계는 챔버 (chamber) 간에 기판을 이동시켜 더 복잡한 프로세스를 수행하는 데 사용될 수 있습니다. 0010-30094에는 실시간 에치 (etch), 증착 (deposition) 및 온도 프로세스에서 모니터링할 수 있는 진단 도구가 장착되어 있습니다. 이 진단 자산은 압력, 온도 센서, 그리고 E-빔 및 이온화 게이지를 사용하여 챔버 상태를 모니터링합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30094는 높은 수준의 정밀도가 필요한 특수 처리에 이상적인 원자로 선택입니다. 이 정교한 원자로는 최첨단 기술과 프로세스 (process of the art technology and process) 를 사용하여 신뢰할 수 있는 결과를 얻어 사용자에게 프로세스를 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. 기본 에칭에서 복잡한 증착에 이르기까지, AMAT 0010-30094는 사용자에게 최고의 성능과 신뢰성을 제공합니다.