판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-30094 #293658018

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-30094 원자로는 기판에서 박막 증착에 사용되는 고효율적이고 다용도 도구입니다. 이 원자로는 MOCVD (Metal-Organic Chemical Vapor Deposition) 장비로, 화학 반응을 사용하여 기질에 물질 층을 만들고 퇴적시킵니다. 원자로 (reactor) 는 다중 구성 옵션을 갖춘 다중 챔버 시스템 (multiple-chamber system) 으로 구성되어 기판 코팅 시 유연성이 향상됩니다. 원자로의 핵심은 강착 챔버 (deposition chamber) 로, 코팅 용 기판을 수용합니다. 이 챔버에는 램프 히터 (lamp heater), 쿼츠 히터 (quartz heater) 및 온도와 차가운 벽 (hot and cold wall) 을 포함한 여러 가열원이 장착되어 기판의 온도를 정확하게 관리합니다. 또한, "챔버 '는 동력 전달 장치 (power delivery unit) 와 결합 되어, 박막 을 형성 하는 화학 반응 을 일으키는 데 필요 한 전력 을 적용 시킨다. 증착실과 외부 환경 사이의 인터페이스는 진공 전사 챔버 (vacuum transfer chamber) 입니다. 이 방에는 원하는 진공 압력 및 온도 범위를 유지하기 위해 기계식 부스터 펌프 (mechanical booster pump) 와 극저온 냉각기 (cryogenic cooling machine) 가 장착되어 있습니다. 또한 전이실 (transfer chamber) 을 사용하면 냉각 및 테스트를 위해 기판을 증착실에서 외부 환경으로 자동 이동할 수 있습니다. 원자로는 유리, 도자기, 금속 등 다양한 기질 물질과 함께 작동하도록 설계되었습니다. 또한 최대 450mm 크기의 대형 기판을 처리 할 수 있습니다. 한 번에 여러 대상 재료의 두꺼운 레이어 (각 레이어에 대해 최대 10nm 두께) 를 배치할 수 있습니다. 증착율은 가변적이며, 원하는 레이어 두께에 따라 설정할 수 있습니다. 또한, 이 원자로는 매우 깨끗한 작동을 위해 특별히 설계되었으며, 균일 한 기질 및 낮은 오염 수준의 필름을 입금하기 위해 설계되었습니다. AMAT 0010-30094 원자로는 증착 공정에 적합한 공구로, 고정밀 제어 및 다용성을 제공합니다. 광학 코팅 (optical coating), 반도체 (semiconductor), 광전자 (optoelectronics) 와 같은 다양한 박막 응용 분야를 위해 박막을 제작할 수 있으며, 뛰어난 정확성과 효율성을 제공합니다. 여러 가열 시스템, 전원 공급 도구, 진공 관리 (vacuum control) 기능을 통해 안정성이 높고 사용자에게 편리합니다.