판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-27983 #293677138

ID: 293677138
웨이퍼 크기: 12"
Heater, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27983은 고성능 반도체 제조를 위해 설계된 정교한 플라즈마 원자로 장비입니다. "플라즈마 '원자로 는 집적 회로 의 제조 과정 에서 중요 한 요소 로서," 마이크로 칩' 이나 기억 장치 와 같은 첨단 기술 장치 의 생산 을 가능 케 하는 데 중요 한 역할 을 한다. 아마트 (AMAT) 의 이 특정 모델은 뛰어난 제어와 균일성을 가진 광범위한 재료를 처리하는 데 안정성, 정밀성, 효율성으로 유명합니다. AMAT 0010-27983 원자로의 중심에는 플라즈마 에칭 또는 증착 과정이 발생하는 플라즈마 챔버 (plasma chamber) 가 있습니다. 물질의 네 번째 상태 인 플라즈마 (Plasma) 는 RF (radiofrequency) 전력을 사용하여 가스 분자를 이온화함으로써 생성됩니다. 이어서, 이 활기 있는 "플라즈마 '는 선택적 으로" 웨이퍼' 표면 에 재질 을 식각 시키거나 증착 시키는 데 사용 되어 "나노스케일 '해상도 에서 반도체 장치 의 정밀 한 무늬 를 가능 케 한다. APPLIED MATERIALS 0010-27983 원자로의 주요 특징 중 하나는 고급 제어 시스템으로, 가스 흐름 속도, 압력, 온도, RF 전력 및 바이어스 전압과 같은 공정 매개변수를 정확하게 튜닝 할 수 있습니다. 이러한 매개변수를 최적화함으로써, 반도체 제조업체는 고품질 장치를 생산하는 데 필요한 원하는 에칭 (etching) 또는 증착률, 균일성, 선택성 및 프로파일 제어를 달성 할 수 있습니다. 원자로에는 최첨단 난방 (state-of-the-art heating) 및 냉각 시스템 (cooling system) 이 장착되어 있어 안정적인 프로세스 환경을 유지하고 여러 처리 실행에서 일관된 성능을 보장합니다. 온도 조절 은 "플라즈마 '처리 중 에" 웨이퍼' 의 열 "스트레스 '를 방지 하고 장치 층 의 무결성 을 유지 하는 데 중요 하다. 신뢰할 수 있는 성능 외에도, 0010-27983 원자로는 다양한 웨이퍼 크기와 프로세스 기술을 수용할 수 있는 확장성과 유연성을 제공합니다. 이 시스템은 효율적인 웨이퍼 로딩 및 언로드를 위한 듀얼 로드 잠금 챔버 (Dual Load Lock Chamber) 및 처리 모듈 간의 완벽한 웨이퍼 전송을 위한 로봇 처리 시스템 (Robotic Handling System) 과 같은 기능을 갖춘 고출력 생산 환경을 위해 설계되었습니다. 안전성 (Safety) 기능은 또한 원자로 설계에 통합되어 운영자의 보호를 보장하고 가동 중 사고를 방지합니다. 여기에는 연동 시스템, 가스 흐름 모니터링, 진공 누수 감지, 장치 오작동 또는 비정상적인 조건에 대한 긴급 종료 프로토콜 등이 포함됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27983 (AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-27983) 원자로는 간편한 유지 관리, 서비스 용이성, 액세스 가능한 구성 요소 및 문제 해결 및 예방 유지 관리를 위한 진단 도구를 제공하도록 설계되었습니다. 이는 다운타임을 최소화하고 기계의 가동 시간을 극대화하여 반도체 제조 (semiconductor manufacturing) 작업의 전반적인 효율성과 비용 효율성에 기여합니다. 결론적으로, AMAT 0010-27983 플라즈마 원자로 도구는 반도체 제조를위한 최첨단 솔루션을 나타내며, 고급 집적 회로 생산을 위해 탁월한 성능, 안정성, 제어를 제공합니다. 반도체 제조업체들이 반도체 (반도체) 업계의 기술과 혁신 (Innovation) 의 경계를 넓히기 위한 귀중한 도구다.
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