판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-25481 #293804851
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-25481은 반도체 제조 공정에 사용되는 고도로 고급되고 다용도 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD) 원자로입니다. 이 최첨단 툴은 세계 반도체 업계의 주요 장비, 서비스, 소프트웨어 공급업체인 AMAT (AMAT) 에 의해 설계, 제조되었습니다. AMAT 0010-25481 원자로는 APPLIED MATERIALS 종합 제품 포트폴리오의 일부로, 광범위한 반도체 제작 요구를 충족합니다. 코어에서 APPLIED MATERIALS 0010-25481 원자로는 정밀도 및 반복성으로 반도체 웨이퍼에 고품질의 박막을 배치하도록 설계되었습니다. 원자로의 PECVD 기술은 플라즈마를 활용하여 전구체 기체와 웨이퍼 표면 (wafer surface) 사이의 화학 반응을 향상시켜 균일 한 필름과 등각 필름의 증착을 초래한다. 이 과정은 트랜지스터, 커패시터, 상호 연결과 같은 반도체 장치에 복잡한 계층 및 구조를 구축하는 데 중요합니다. 0010-25481 원자로의 주요 특징으로는 강력한 진공 챔버, 가스 전달 시스템, RF 전원 공급 장치, 온도 조절 메커니즘 및 공정 모니터링 센서가 있습니다. 진공실 은 오염 물질 이 없는 제어 된 환경 을 제공 해 주며, 이 로 인해 "필름 '은 예외적 인 순도 와 균일 함 으로 증착 된다. "가스 '전달" 시스템' 은 전구체 "가스 '를 방 에 정확 하게 공급 하여 퇴적 된" 필름' 의 맞춤형 조성 을 가능 하게 한다. RF 전원 공급 장치 (power supply) 는 가스 분자를 활성화시키고 웨이퍼 표면의 필름 성장을 촉진하는 데 필요한 플라즈마를 생성합니다. 온도 조절은 필름의 특성 (예: 두께, 굴절률, 응력) 에 영향을 미치기 때문에 PECVD 프로세스의 중요한 측면입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-25481 원자로에는 증착주기 내내 원하는 온도에서 웨이퍼를 유지하기 위해 고급 난방 및 냉각 메커니즘이 장착되어 있습니다. 이것은 기판에 최적의 필름 품질과 접착을 보장합니다. 원자로에 통합 된 공정 모니터링 센서는 가스 흐름 속도, 압력, 온도, 플라즈마 특성 등 주요 매개변수에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 이 데이터는 미세 조정 프로세스 조건과 원하는 필름 특성을 일관되게 달성하는 데 필수적입니다. 원자로의 소프트웨어 인터페이스 (Software Interface) 를 통해 운영자는 프로세스 레시피를 입력하고, 진행 상황을 모니터링하고, 즉석에서 조정하여 효율적이고 안정적인 작동을 보장할 수 있습니다. 핵심 증착 기능 외에도, AMAT 0010-25481 원자로는 PEALD (plasma-enhanced atomic layer deposition) 및 plasma etching과 같은 고급 필름 증착 기법을위한 추가 모듈로 구성 될 수 있습니다. 이러한 옵션은 원자로의 다재다능성을 확장하고 나노 스케일 정밀도로 복잡한 반도체 구조의 제작을 가능하게한다. 전체적으로, APPLIED MATERIALS 0010-25481 원자로는 반도체 제조에서 기술의 정점을 나타내며, 최첨단 반도체 장치에 필수적인 고품질 박막을 생산하는 데 탁월한 성능, 유연성 및 신뢰성을 제공합니다. 선도적인 특징과 기능으로 전 세계 반도체 제조업체를 선도하고, 혁신을 이끌어내며, 차세대 전자제품 개발을 가능하게 하는 "선호 도구 (preferred tool) '다.
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