판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-24456 #293702782

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-24456은 반도체 제조 공정을 위해 설계된 고성능 화학 증기 증착 (CVD) 원자로 장비입니다. 이 첨단 원자로는 세계 반도체 업계를 위한 장비, 서비스, 소프트웨어 분야의 선두 기업인 AMAT (AMAT) 가 제작한 원자로다. AMAT 0010-24456 원자로는 UHV (Ultra-High Vacuum) 환경의 까다로운 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계되어 실리콘 웨이퍼에 박막 (Thin film) 의 정확한 제어 및 균일 한 증착을 보장합니다. APPLIED MATERIALS 0010-24456 원자로의 중심에는 공정 챔버 내에서 정확한 온도 제어가 가능한 정교한 가열 시스템이 있습니다. 이 열 관리 장치 는 "실리콘 '질화물," 실리콘 산화물' 및 "폴리실리콘 '을 포함 하여 특이 한 균일성 과 반복성 을 지닌 광범위 한 박막 을 증착 시킬 수 있다. 원자로의 고온 능력은 섭씨 1000 도까지의 온도에서 박막 (thin film) 을 증착시켜 최적의 필름 품질 (film quality) 과 기판을 준수합니다. 0010-24456 원자로는 공정 챔버에 전구체 가스를 정확하게 도입 할 수있는 고급 가스 전달 머신 (advanced gas delivery machine) 을 특징으로합니다. 이 가스 전달 도구 (gas delivery tool) 에는 질량 흐름 제어기와 압력 조절기가 장착되어 있어 정확한 가스 흐름 속도와 챔버 압력 제어를 보장합니다. 원자로에는 공정 챔버 (process chamber) 에서 부산물 (byproduct) 과 폐기물 가스 (waste gase) 를 효율적으로 제거하고 깨끗하고 안정적인 처리 환경을 유지하는 정교한 배기 자산이 장착되어 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-24456 원자로의 주요 특징 중 하나는 200mm 및 300mm를 포함한 다양한 크기의 웨이퍼를 수용 할 수있는 다용도 웨이퍼 처리 모델입니다. 웨이퍼 처리 (Wafer Handling) 장비는 웨이퍼의 자동 로드 및 언로드, 운영자의 개입 최소화, 주기 시간 단축을 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 또한 처리 중 웨이퍼를 안전하게 고정시킬 수있는 에지 그립 (Edge grip) 기술을 갖추고 있으며, 전체 웨이퍼 표면에 균일 한 필름 증착을 보장합니다. AMAT 0010-24456 원자로는 정교한 소프트웨어 인터페이스에 의해 제어되며, 이를 통해 매개변수를 정확하게 제어하고 증착 과정을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 소프트웨어 인터페이스를 통해 연산자는 배치 레시피 (deposition recipe) 를 설정하고, 프로세스 매개변수를 모니터하며, 처리 중에 발생할 수 있는 문제를 해결합니다. 또한, 원자로에는 안전하고 안정적인 작동을 보장하기 위해 인터 록 (interlock) 과 경보 (alarm) 를 포함한 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 결론적으로 APPLIED MATERIALS 0010-24456 원자로는 반도체 제조 응용 프로그램에 뛰어난 성능, 안정성 및 다용성을 제공하는 최첨단 CVD 장치입니다. 고급 열 관리 기계, 가스 전달 도구, 웨이퍼 처리 기능, 소프트웨어 인터페이스 등을 갖춘 0010 ~ 24456 원자로는 반도체 제조업체에 고품질 박막 증착을 달성하고 오늘날의 반도체 업계의 까다로운 요구 사항을 충족하는 데 필요한 도구를 제공합니다 (영문).