판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-24057 #293717024

ID: 293717024
웨이퍼 크기: 12"
Degas heater for Endura, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-24057은 실리콘 웨이퍼에 박막 증착을 위해 반도체 제조업에 사용되는 고성능, 고급 플라즈마 원자로입니다. 이 원자로는 현대 반도체 제작 공정의 엄격한 요구 사항을 충족시키기 위해 정확하고 균일 한 필름 증착을 제공하도록 설계되었습니다. 이 제품은 집적 회로, 메모리 장치, 기타 반도체 제품 생산의 핵심 요소입니다. AMAT 0010-24057 (Multi-Chamber, Single-Wafer Processing) 장비는 물리적 및 화학적 공정의 조합을 사용하여 뛰어난 균일성을 가진 박막을 입금하고 필름 특성을 제어하는 다중 챔버, 단일 웨이퍼 처리 장비입니다. 원자로는 진공 챔버 (vacuum chamber), 가스 전달 시스템 (gas delivery system), 플라즈마 소스 (plasma source) 및 온도 조절 장치 (temperature control unit) 를 포함한 여러 주요 구성 요소로 구성되며, 모두 원하는 필름 특성을 달성하기 위해 함께 작동합니다. APPLIED MATERIALS 0010-24057 원자로 (APPLIED MATERIALS 0010-24057 Reactor) 의 주요 특징 중 하나는 고급 가스 전달 기계로, 증착 과정에서 사용되는 다양한 전구체 가스의 유량을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이를 통해 원자로는 많은 수의 웨이퍼 (wafer) 에 걸쳐 높은 수준의 필름 균일성과 재생성을 달성 할 수 있습니다. 가스 전달 도구 (Gas Delivery Tool) 에는 질량 흐름 제어기 및 압력 센서가 장착되어 있어 프로세스 전반에 걸쳐 정확하고 안정적인 가스 흐름을 보장합니다. 0010 ~ 24057 원자로의 플라즈마 소스 (plasma source) 는 전구체 가스와 반응하여 웨이퍼 표면에 원하는 박막 (thin film) 을 형성하는 고밀도 플라즈마를 생성함으로써 필름 증착 과정에서 중요한 역할을합니다. 플라즈마 소스는 챔버 내에 강한 전기장을 만들고, 가스 분자를 이온화하고, 필름 증착을위한 반응성 환경을 만드는 고주파 RF 전원 공급 장치 (high-frequency RF power supplies) 로 구동됩니다. 온도 조절은 AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-24057 원자로의 또 다른 중요한 측면입니다. 이는 웨이퍼 표면에 필름 특성과 접착력을 최적화하는 데 도움이됩니다. 원자로에는 증착 과정에서 웨이퍼 온도를 정확하게 조절 할 수있는 정교한 온도 조절 에셋 (temperature control asset) 이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 필름이 원하는 필름 특성 (film properties) 에 대한 최적의 온도에서 강착됩니다. 또한 AMAT 0010-24057 원자로는 빠른 웨이퍼 로딩 및 언로드 메커니즘, 자동화된 프로세스 시퀀스, 실시간 모니터링/제어 시스템 등 높은 생산성과 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 이러한 기능은 가동 중지 시간을 최소화하고 웨이퍼 처리량을 최대화하는 데 도움이 되므로, 이 원자로는 대용량 반도체 제조 환경에 이상적입니다. 결론적으로, APPLIED MATERIALS 0010-24057 원자로는 반도체 산업에서 박막 증착을위한 고도의 다목적 도구입니다. 정밀한 가스 전달, 고급 플라즈마 생성 (plasma generation), 온도 조절 (temperate control) 및 높은 생산성 (productivity) 기능의 조합으로 현대 반도체 장치 생산에 필수적인 요소가되었습니다. 뛰어난 필름 균일성, 제어 및 반복 성을 갖춘 0010-24057 원자로는 최첨단 반도체 기술을 구현하는 핵심 요소입니다.
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