판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-23716 #293810759

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-23716 Reactor는 전자 산업에 사용되는 반도체 및 금속 재료 제조에 사용되는 정교한 장비입니다. 초박막 증착을 가능하게 하는 10 7 토르 (Torr) 의 낮은 진공 수준을 만들도록 설계된 초고진공 시스템입니다. 6 인치 반응 챔버, 3 개의 15 인치 챔버 포트, 여러 공정 가스, 13 메가 와트 난방 어셈블리 및 다양한 전원 공급 장치 및 게이지가있는 멀티 챔버 장치로 구성됩니다. 이 기계는 실내 온도 (250 ° C) 에 이르는 온도를 처리 할 수 있으므로 다양한 증착 방법을 사용할 수 있습니다. 반응 챔버는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 13MW 어셈블리에 의해 가열되어 챔버 전체에 균등한 온도 분포를 만듭니다. 고압 가스 분사 도구 (high-pressure gas injection tool) 는 균일 한 가스 분포를 보장하며 에칭 및 증착 과정 모두에 사용됩니다. 공정 당 속도 (per-process rate) 는 가변적이고 조절 가능하여 광범위한 온도에서 복잡한 구조를 증착 할 수 있습니다. 3 개의 15 인치 챔버 포트를 통해 추가 가스 및 공정 부품을 환경에 도입 할 수 있습니다. 이러한 구성 요소에는 창문이없는 광선 방전 밸브, 웨이퍼 방향 장치 및 현장 검사를위한 현미경이 포함됩니다. 반응실 내 의 환경 은 원자적 으로 깨끗 하여, 어떠 한 과정 을 밟을 때, 오염 의 위험성 을 감소 시킨다. 원자로에는 범용 전원 공급 장치 2 개, 고효율 프로그래밍 가능한 전원 공급 장치, 다양한 공정 가스와 온도를 제어하고 조작하는 데 도움이되는 추가 전원 부품이 포함되어 있습니다. 원자로에 설치된 게이지는 압력 (pressure), 온도 (temper), 가스 구성 (gas composition) 과 같은 여러 공정 매개변수를 모니터링하여 실시간 (real time) 및 후처리 분석 (post-processing analysis) 을 모두 허용합니다. AMAT 0010-23716 원자로는 반도체 산업에 중요한 도구입니다. 탁월한 진공 성능을 유지하면서, 높은 수준의 프로세스 제어 및 정확성을 제공합니다. 다용도와 견고한 건축으로 많은 박막 제작 어플리케이션 (Thin Film Fabrication Application) 에 적합한 솔루션으로, 업계를 위한 귀중한 장치입니다.