판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-21246 #293593053

ID: 293593053
웨이퍼 크기: 8"
Heater assembly, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-21246 Reactor는 업계의 다양한 애플리케이션에 사용되는 고급 공정 장비입니다. 원통형 베이스가있는 대형 챔버 스타일 시스템이며 멀티 존 흑연 머플 (multi-zone graphite muffle), 가스 매니 폴드 (gas manifold) 및 틸팅 도가니 (tilting crucible) 를 통합합니다. 원자로는 여러 공정 레시피를 동시에 생성 할 수 있으며, 온도와 압력에 대한 정밀 제어를 제공합니다. 임계값의 정확한 제어는 디지털 온도 조절 (digital temperature control) 과 활성 냉각수 (active chilled water bath) 의 조합으로 향상됩니다. AMAT 0010-21246 Graphite Reactor (Graphite Reactor) 의 아키텍처는 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하여 고객이 매우 정확한 온도 프로파일로 정밀한 프로세스를 설계 할 수 있도록 합니다. "머플 '로 에 여러 개 의 온도 구역 을 사용 함 으로써, 정밀 한 열 구배 를 얻을 수 있는데, 이것 은 특정 한 반응 에 최적 이다. 약실 내 의 고온 과 압력 을 정확 하게 제어 할 수 있어서, 공정 속도 를 결정 하는 "파라미터 '를 정확 히 제어 하여, 원하는 제품 의 생산량 을 향상 시킬 수 있다. APPLIED MATERIALS 0010-21246 흑연 반응로 (Graphite Reactor) 는 부식 내성 물질로 구성되어 있으며, 머플 퍼니스에 특별한주의를 기울이며 흑연으로 만들어졌으며, 우수한 온도 재생성을 제공합니다. 틸팅 도가니는 부식 내성 합금으로 구성됩니다. 원자로 는 "가스 '매니 폴드' 를 포함 하여" 챔버 '에 고압 "가스' 입력 과 저압" 가스 '입력 을 모두 가능 하게 하며, 그것 은 약실 내 의 대기 를 정확 히 제어 할 수 있게 해 준다. 원자로에는 자동 온도 차단, 기압 모니터링, 온도 초과 신호로 구성된 통합 안전 장치 (Integrated Safety Unit) 가 장착되어 있습니다. 이러한 기능은 위험을 줄이고 안전한 운영을 보장하도록 설계되었습니다. 또한, 원자로는 사용자 친화적으로 설계되었으며, 가청 경보 (audible alarm) 와 프로세스 모니터링을위한 시각적 지표 (visual indicator) 를 모두 포함합니다. 0010-21246 Graphite Reactor는 강력하고 정밀 설계 된 기계로, 다양한 응용 프로그램에 적합합니다. cVD/PECVD, 에칭/증착 응용 프로그램 (etching/deposition application) 과 같이 챔버의 온도, 압력 및 환경에 대한 정확한 제어가 필요한 프로세스에 적합합니다. 연구 개발 또는 생산 환경에 사용되든, AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-21246 Graphite Reactor는 안정적이고 정밀 설계 된 성능을 제공합니다.
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