판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-17798 #9112022

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-17798은 화학 증기 증착 (CVD) 원리에 작용하는 원자로입니다. 얇은 재료 및 필름 레이어를 만드는 데 사용됩니다. CVD는 가스 전구체가 원자로 챔버 (reactor chamber) 에 도입 된 후 반응하여 기판에 고체 물질을 형성하는 기술이다. AMAT 0010-17798은 다양한 CVD 프로세스에 적합하도록 특정 기능으로 설계되었습니다. 원자로 설계는 리필 가능한 챔버, 공정 탱크 및 배기로 구성됩니다. 리필 가능한 챔버에는 가스 전구체가 포함되어 있으며, 공정 탱크에는 기판 재료가 포함되어 있습니다. 가스와 기질 물질은 공정 탱크에서 화학적으로 반응합니다. 배기는 CVD 반응의 부산물이 시스템에서 탈출 할 수 있도록 허용합니다. 기판 챔버는 고온에서 작동하도록 설계되었습니다. 열 손실을 줄이고 용기를 산화로부터 보호하기 위해 페로-세라믹 라이닝 (ferro-ceramic lining) 에 의해 절연됩니다. "리필러블 '약실 은 독성 화학 물질 의 누출 위험 을 최소화 하기 위해 밀봉 되며, 공정 요건 에 따라, 여러 가지 화학 물질 로 충전 될 수 있다. 원자로에는 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 시스템은 fail-safe 장치와 긴급 차단 스위치로 설계되었습니다. fail-safe (fail-safe) 디바이스는 프로세스에 중단이 있을 때 활성화되며, 응급 스위치를 사용하여 시스템을 수동으로 종료할 수 있습니다. 이러한 기능은 프로세스 장애 또는 안전 사고 (Safety Hazard) 를 방지합니다. 원자로는 유연성이 높으며, 다양한 CVD 프로세스에 사용될 수 있습니다. 저온 증착, 플라즈마 솔루션 및 젖은 화학 공정과 같은 공정에 사용할 수 있습니다. 따라서 다양한 애플리케이션을 위한 다용도 및 효율적인 툴이 됩니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS 0010-17798 원자로는 CVD 프로세스에 필수적인 도구입니다. 우수한 구성, 안정성, 사용이 용이하여 다양한 CVD 프로세스에 이상적인 툴입니다.