판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-16893 / 0195-01037 #293666362

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-16893/0195-01037은 박막 재료를 퇴적시키는 데 사용되는 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 원자로는 반도체, 광전자, 디스플레이, 유리, 세라믹 재료와 같은 고성능 박막 제품의 생산에 이상적입니다. 스플릿 카세트 (split cassette) 를 갖춘 200mm 수직 설계로 상하에서 기판을 동시에 적재 할 수 있습니다. 분할 카세트 (split cassette) 디자인을 활용하여 원자로는 부피가 증가하여 한 주기로 여러 기판을 동시에 처리하여 주기 시간 (cycle time) 과 비용을 줄입니다. 원자로는 또한 저각 자기장 기술 (low-angle magnetic field technology) 을 특징으로하며, 이는 전체 웨이퍼에서 우수한 플라즈마 균일성을 제공하고 입자 오염을 줄이는 것으로 입증되었습니다. 저각 자기장 (low-angle magnetic field) 은 또한 필름의 균일성을 향상시키는 데 도움이되며, 웨이퍼에 증착 된 입자로 인한 결함 수를 줄입니다. 또한 AMAT 0010-16893/0195-01037에는 장기적이고 안정적인 작동을 위해 설계된 단일 챔버 디자인이 있습니다. 챔버에는 멀티 존 (multi-zone) 난방 장비가 장착되어 있으며, 정확한 온도 조절을 위해 균일 한 온도 프로파일을 제공합니다. 이 기능은 우수한 재료 증착 재생성을 가능하게합니다. 이 챔버 (chamber) 에는 자동 주변 가스 전달 시스템 (ambient gas delivery system) 이 포함되어 있어 제어 작업흐름과 뛰어난 프로세스 제어가 가능합니다. 또한, 챔버에는 특허를받은 플라즈마 소스 디자인 (plasma source design) 이 포함되어 있으며, 이는 전기 방전 노이즈를 억제하고 안정적인 플라즈마 생산을 보장하는 데 도움이됩니다. 원자로는 또한 정확한 프로세스 제어를 위해 멀티 포인트 압력 제어를 제공합니다. 또한, 원자로에는 고도 활동 경보 장치 (high-duty activity alarm unit) 가 장착되어 있으며, 이는 원자로를 모니터링하여 안전성과 안정성을 보장합니다. 알람 머신 (alarm machine) 은 외부 처리 시스템과 통신하는 기능을 통해 추가 자동화 계층을 제공합니다. 전체적으로 APPLIED MATERIALS 0010-16893/0195-01037은 고성능 박막 제품 생산을 위해 설계된 고급 CVD 원자로입니다. 스플릿 카세트 (split cassette) 와 저각 자기장 (low-angle magnetic field) 기술을 갖춘 200mm 수직 설계를 제공하여 균일성 또는 입자 오염의 손실없이 빠른 웨이퍼 처리를 가능하게합니다. 또한, 원자로는 뛰어난 온도 안정성, 정확한 프로세스 제어, 고급 안전 경보 시스템 (safety alarm system) 을 제공하여 안정적인 생산 환경을 보장합니다.