판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-13833 #9277934

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-13833은 질화 은하, 실리콘, 게르마늄 및 기타 반도체 재료와 같은 균질한 재료 층을 생산하도록 설계된 고급 증기 상 에피 택시 (VPE) 원자로입니다. 고 수율, 고품질 및 대용량. 이 장비는 석영 또는 스테인리스 원자로 챔버 내에서 성장하기 위해 수평 hypocycloidal 턴테이블 기반 프로세스를 사용합니다. 턴테이블 (turntable) 설계는 기판이 가열되어 챔버 (chamber) 에 수평으로 배치되는 회전 테이블 (rotating table) 에 각도로 배치되는 반전된 도가니 (crucible) 구성을 제공합니다. 그 다음 에 도가니 는 "턴테이블 '의 중앙 에 놓이게 되고 기질 은 원자로" 챔버' 내 의 여러 가지 전구체 와 성장 물질 에 노출 된다. 에피 택시 (epitaxy) 과정에서, 회전 된 턴테이블은 전체 웨이퍼에 걸쳐 반도체 재료의 균일 한 증착을 보장하며, 기판에 균일하고 균질한 물질 층을 생성한다. 반전 된 도가니 턴테이블 외에도 AMAT 0010-13833에는 정확하고, 효율적이며, 높은 수율 성장 프로세스를 위해 다양한 다른 기능이 있습니다. 이 시스템은 원하는 증착 구성을 달성하기 위해 독립 퍼지 라인 (purge line) 에서 최대 60 개의 가스를 제공 할 수있는 이중 통합 가스 분배 장치 (dual integrated gas distribution unit) 로 설계되었습니다. 이 기계는 또한 닫힌 루프 피드백 (closed loop feedback) 자산을 사용하여 챔버 압력, 온도, 가스 구성을 모니터링하는 고급 프로세스 제어 도구 (advanced process control tool) 를 갖추고 있으며, 사용자가 증착율, 레이어 두께 및 균일성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 0010-13833은 반도체 재료 생산을 위해 안정적이고 비용 효율적인 플랫폼을 제공합니다. 이 모델은 고수율 (High-Yield) 및 고품질 (High-Quality) 성장을 위해 설계되었으며 장기적인 안정적인 운영을 지원합니다. 이 장비는 최대 300mm (12 인치) 웨이퍼의 나노미터 스케일 기능을 생산할 수 있으며, 구성 요소 레이어는 5 나노미터까지 얇습니다. 신뢰성이 높고 효율적인 0010-13833은 오늘날 성장하고 변화하는 전자, 기술 시장에서 필요한 반도체 소재를 생산할 수 있는 훌륭한 플랫폼을 제공합니다 (영문).