판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-13321W #293658052

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-13321W는 산화물 원자층 증착, 질화물 원자층 증착 및 기타 박막 증착 공정과 같은 응용 분야를 위해 설계된 초소형 공정 원자로입니다. 이 원자로는 매우 얇고, 순도가 높으며, 균일 한 재료 층을 기판에 증착 할 수 있습니다. AMAT 0010-13321W는 고급 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 제작되어 부식에 강하고 청소가 쉽습니다. 챔버 (chamber) 는 프로세스 전반에 걸쳐 균일 한 온도 및 균일 한 가스 전달을 제공하도록 설계되었습니다. 증착 효율을 최대화하기 위해, 공정 온도는 0.1 ° C의 정밀도로 제어 될 수있다. 원자로는 외부 컨트롤러로 작동하여 작동의 유연성을 높일 수 있습니다. 이 원자로 의 "마그네트론 '원 은 산화물 과 질화물 층 을 증착 시키는 데 이상적 이다. 마그네트론 소스는 기질에서 재료 코팅의 균일 한 증착을 보장합니다. 또한 석영 "보우트 '는 최대 1.6" 그램' 의 재료 를 보유 할 수 있으며, 그 재료 는 기판 위 에 고르게 분포 된다. 이 "시스템 '의 설계 는" 쿼츠' "보트 '," 마그네트론' 원, 그리고 상부 전극 과 같은 부품 을 교체 할 수 있는 정비 를 쉽사리 할 수 있게 해 준다. 반응 챔버에는 조절 가능한 가스 공급 장치 (adjustable gas supply) 가 장착되어 증착을위한 전구체 가스가 도입 될 수있다. 이 "가스 '입구 에는 또한" 가스' "스크러버 '" 필터' 가 장착 되어 있는데, 이것 은 반응 실 로부터 과도 한 오염 물질 을 걸러 낼 수 있다. 약실 에는 또한 반응 부산물을 포착 한 후면 진공 피팅 (back-side vacuum fitting) 이 있어 원자로 재진입을 방지하고 증착 과정에 영향을 미칩니다. 전체적으로 APPLIED MATERIALS 0010-13321W는 초슬림, 초고순도, 고균일 한 재료 층을 증착하도록 설계된 고성능 초소형 공정 원자로입니다. 내구성 있는 구성과 고정밀 (high-precision) 제어로 다양한 어플리케이션에 적합하여 안정적이고 일관된 결과를 제공합니다.