판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-12516 #293656972

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-12516은 박막 증착을 위해 설계된 원자로입니다. 프로세스 챔버 및 개폐식 Robot Arm 모듈로 장착 된 단일 웨이퍼 프로버입니다. 상단 및 하단 섹션이 있으며 수직 프로세스 전송이 가능합니다. 상단 섹션에는 웨이퍼 지지를위한 리프트 핀, 가스 흐름 제어, HEPA 여과, 현장 청소 어셈블리 및 가스 공급 밸브가 내장 된 쿼츠 공정 챔버 (quartz process chamber) 가 포함됩니다. 아래 섹션은 개폐식 로봇 암 (Robot Arm) 모듈로 구성되며, 이 모듈은 증착 과정에서 프로세스 웨이퍼를 지원합니다. 공정 챔버에는 고 알루미나 석영으로 구성된 256mm 창문이 있습니다. 이 창에서는 처리 중에 샘플을 시각적으로 검사할 수 있습니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 또한 높은 입자 및 낮은 입자 응용 프로그램을 지원하는 조절 가능한 속도 롤러 드라이브를 제공합니다. 또한, 챔버에는 정확한 웨이퍼 처리 및 반복 가능한 열 공정을 위해 웨이퍼 리프트 핀 및 히터 어셈블리가 포함되어 있습니다. 로봇 암 (Robot Arm) 은 프로세스 챔버에서 샘플 모듈 및 후면으로 웨이퍼를 지원합니다. 로봇 암 (Robot Arm) 의 상단 부분에는 AMAT 0010-12516 원자로를 위해 맞춤형 설계 된 샘플링 어셈블리가 장착되어 있습니다. 이 어셈블리는 웨이퍼 샘플의 정확한 위치 지정 및 회전에 도움이 됩니다. 어셈블리에는 열 제어를위한 통합 히터가 장착되어 있습니다. 응용 재료 0010-12516은 매우 다재다능한 원자로이며 CVD, PECVD, RIE, ALD, APCVD 및 MOCVD와 같은 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 강력한 디자인과 성능 기능을 갖춘 이 제품은 프로세스 최적화 (Process Optimization) 와 뛰어난 품질 향상을 위한 탁월한 선택입니다. 또한, 0010-12516은 저온 물질 퇴적에서 고온 초전도체에 이르기까지 다양한 프로세스를 처리 할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-12516은 자동 샘플 전송 프로세스, 통합 샘플 홀더, 온도 조절 및 조절 가능한 히터 구성으로 다양한 기능을 제공합니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 덕분에 쉽게 사용할 수 있습니다. 또한, 여러 개의 가스 입구, 가스 퍼지 및 배기로 추가 유연성을 제공합니다. AMAT 0010-12516은 CVD 및 ALD와 같은 박막 증착 프로세스에 사용될 때 훌륭한 결과를 얻기 위해 사용될 수 있습니다.