판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-12516 #293640084
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-12516은 반도체 산업에서 사용되는 원자로입니다. 다른 유형의 필름을 입금하거나 에칭하여 웨이퍼를 처리하는 데 사용됩니다. 원자로는 300mm 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 매우 빠르고 효율적입니다. 원자로는 3 개의 주요 부품, 즉 석영 챔버, 웨이퍼 플레이트 및 가스 제어 장비로 구성됩니다. "쿼츠 '챔버 는 내부 에 매우 정밀 한 분위기 를 조성 하여" 에칭' 이나 증착 과정 을 매우 정확 하게 조종 할 수 있도록 설계 되었다. 챔버는 3 개의 석영 실린더로 만들어졌으며, 이 실린더는 서로 융합되어 강한 물개를 만듭니다. "챔버 '의 내부 는 난방 요소 와 냉각 요소 로 둘러싸여 있어 환경 을 정확 히 제어 할 수 있게 되어 있다. 그렇다. 웨이퍼 플레이트 (wafer plate) 는 가공하는 동안 챔버에 웨이퍼를 고정시키는 원자로의 구성 요소입니다. 내열성, 비 전도성 인 특수 물질로 만들어졌습니다. 이 플레이트는 또한 유지 보수 비용이 적고, 비용이 저렴하여, 고객에게 불필요한 비용을 절감하도록 설계되었습니다. 가스 제어 시스템은 원자로의 또 다른 중요한 구성 요소입니다. 에칭 (etching) 과 증착 (deposition) 과정에 필요한 반응성 기체 (reactive gase) 를 제공하고 챔버 내부의 압력과 흐름을 제어하는 역할을 수행합니다. 이 장치 는 여러 가지 "밸브 '," 파이프' 및 "가스 '원 으로 구성 되어 있어" 가스' 를 정확 히 제어 할 수 있다. 전반적으로 AMAT 0010-12516 원자로는 모든 크기의 웨이퍼를 가공하는 안정적이고 효율적인 방법입니다. 정밀 한 "가스 '조절 장치 는 챔버' 내부 의 환경 을 정확 하게 조절 할 수 있게 한다. 유지 보수가 적은 디자인과 내구성이 뛰어난 재료는 박막 증착 (Thin Film Deposition) 및 에칭 (Etching) 을 포함한 많은 응용 프로그램에 이상적입니다.
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