판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-11239 #293651953
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-11239는 고성능 박막 증착을 위해 특별히 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 핵심에는 진공실이 있으며, 최대 10-5 Torr의 대기압에서 작동 할 수 있습니다. 방은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 증착 과정을 관찰하기위한 석영 창을 특징으로합니다. 챔버 내부에는 회전 플래튼 (platen) 이 있으며, 기질을지지하며 최대 500 ° C의 온도로 가열 될 수 있습니다. RF 및 DC 전원의 조합을 사용하여 증착 과정에 필요한 플라즈마를 생성 할 수 있습니다. AMAT 0010-11239 는 사용자 요구 사항에 맞게 조정할 수 있는 모듈식 시스템입니다. "가스 '매니 폴드'" 시스템 '을 추가 하여 여러 개 의 "가스' 를 약실 에 분리 하여 투입 할 수 있으며, 필요 하다면 다양 한 증착 과정 을 할 수 있다. 원자로 에는 또한 "가스 '처리 장치 가 갖추어져 있어서, 증착 과정 에 사용 되는 모든" 가스' 를 정확 히 제어 할 수 있다. 응용 재료 0010-11239 (APPLIED MATERIALS 0010-11239) 원자로는 복잡한 재료의 얇은 층을 증착 할 때에도 기판 전체에서 최대 균일 성을 달성하도록 설계되었습니다. 정교한 소프트웨어를 통해 레이저 전력, 가스 유량 (gas flow rate), 기판 온도 등 증착 과정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 전체 프로세스를 모니터링하고 기록하여 반복 가능한 성능을 보장합니다. 0010-11239 원자로는 정교한 기능과 다양한 구성으로 인해 박막 증착 (Thin-film deposition) 을 위한 안정적이고 경제적인 선택입니다. 모듈식 (modular) 설계는 다양한 작업에 적합하며, 여러 가스를 처리할 수있는 기능은 광범위한 연구/산업 분야에 사용할 수있는 다용도 도구입니다. 또한, 소프트웨어와 하드웨어는 공정 (process) 과 증착 (deposition) 의 최종 품질 (quality) 을 정확하게 제어합니다.
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