판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750W #9186163

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750W는 정밀 공정 온도 및 광범위한 공정 가스 흐름을 지원하도록 특별히 설계된 원자로입니다. 이 제품은 안전하고 안정적인 방식으로 배치를 처리할 수 있으며, 고수율 (High-Yield) 생산과 저가형 (Low Run) 비용에 대한 정확한 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 원자로 설계는 증착, 에칭, 어닐링 등 다양한 프로세스에 최적화되어 있습니다. 원자로의 온도 범위는 1100 ° C이며 질소, 아르곤, 수소, 산소와 같은 가스를 지원할 수 있습니다. 챔버 (Chamber) 는 쉽게 볼 수 있도록 쿼츠 뷰 포트 (Quartz Viewport) 를 갖춘 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 로 구성되었으며 샘플 홀딩 웨이퍼에 쉽고 정확하게 액세스 할 수 있도록 설계되었습니다. 이 챔버에는 빠르고 간편한 프로세스 제어 및 모니터링을 위한 대화식 사용자 인터페이스 (interactive user interface) 도 있습니다. 원자로의 설계는 첨단 열 제어 장비 (thermal control equipment) 로 인해 빠른 처리 주기를 가능하게한다. 이 시스템은 빠른 온도 상승 (ram-up) 과 경사 속도 (rate-down rate) 를 통해 정확한 프로세스 온도를 제공하여 퇴적 및 식각 속도를 더 잘 제어합니다. 게다가, 이 장치 는 여러 가지 공정 "레시피 '를 사용 할 수 있게 해 주며, 생산" 플로우' 를 방해 하지 않고도 즉석 에서 조리법 을 신속 히 변경 할 수 있다. 이 원자로에는 자동 웨이퍼 처리 장치 (wafer handling machine) 가 장착되어 있어 샘플 처리 및 준비, 로드 및 언로드를 단순화합니다. 로봇 암 (robotic arm) 에는 프로세스 사이클 전반에 걸쳐 웨이퍼를 정확하게 추적 할 수있는 강력한 전자 센서가 장착되어 있습니다. 또한, 이 원자로는 사용자 정의 레시피를 저장하고 모든 프로덕션 실행에서 여러 단계에 걸쳐 레시피를 관리하는 자동화된 레시피 관리 도구 (Automated Recipe Management Tool) 를 갖추고 있습니다. 이 원자로에 통합된 기능과 기술의 조합을 통해 공정 (precision) 프로세스 제어, 빠른 주기 시간, 낮은 소유 비용, 신뢰성 등을 얻을 수 있습니다. 프로세스 제어가 개선되고 수율이 높아짐에 따라 AMAT 0010-09750W 는 최고 수준의 표준과 경제성이 요구되는 에칭 (etching) 및 증착 (deposition) 애플리케이션에 적합합니다.