판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9358019

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750은 화학 증기 증착 (CVD) 및 빠른 열 처리 (RTP) 응용 분야에 이상적인 공정 원자로입니다. 이 선박은 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어진 크고 직사각형의 선박으로, 비활성 가스로 채워져 있으며, o-ring 물개로 봉인 된 여러 포트가 장착되어 있습니다. 축으로 장착된 수동 회전 밀봉 어셈블리 (manual rotating seal assembly) 는 포트를 열고 닫는 데 사용되며, 대류 오븐은 챔버 온도를 유지하는 데 사용됩니다. 이 선박은 304 SS로 구성되었으며 직경 8 "(20cm) 및 높이 6.5" (17cm) 및 부피 1000 입방 인치 (16 리터) 로 설계되었습니다. 용기의 압력은 40 psig (2.75 barg) 입니다. 내부 회전 가능 임플란트 홀더는 챔버 중앙에 축으로 장착되며 직경이 최대 4 "인 6 (6) 웨이퍼를 지원할 수 있습니다. 챔버에는 최대 3 개의 공정 가스 입구 (gas inlet) 와 2 개의 배기 (2) 배기를 장착하여 빠르고 동적 프로세스 사이클링을 가능하게합니다. 챔버는 위에서 언급 한 대류 오븐을 사용하여 가열됩니다. 이 오븐은 온도 범위가 20 ° F-950 ° F (7 ° C-510 ° C) 인 304 SS로 구성됩니다. 오븐은 PID 온도가 제어되며 ± 5 ° F (± 2 ° C) 의 균일 성을 갖습니다. 난방 속도는 최대 650 ° F/min (354 ° C/min) 까지 프로그래밍 할 수 있습니다. 챔버에는 가변 속도 팬 (variable speed fan) 이 장착되어 챔버에 대류 공기 흐름이 가능합니다. AMAT 0010-09750은 다양한 CVD 및 RTP 어플리케이션을 위해 설계되었습니다. 축으로 장착 된 수동 회전 밀봉 (manual rotating seal) 어셈블리, 대용량 및 대류 가열로, 사용 가능한 가장 효율적인 원자로 중 하나입니다. 균일 한 가열 (heating) 과 결합된 가스를 빠르게 순환시키는 능력은 높은 처리량과 일관된 결과에 이상적입니다. 저온으로 높은 강착 속도를 달성 할 수 있으므로, 주기 시간을 줄일 수 있습니다. 이 원자로는 안정적이고 효율적인 CVD 또는 RTP 시스템을 찾는 모든 실험실에 적합합니다.