판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #9005022

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750 Reactor는 화학 증기 증착 (CVD) 및 물리적 증기 증착 (PVD) 과 같은 증기 증착 공정을 위해 설계된 다재다능하고 신뢰할 수있는 고급 제조 도구입니다. 이 원자로는 온도, 압력, 시간 조절을 결합하여 전구체, 도펀트 원, 촉매 전환과 같은 프로세스에 필요한 특정 조건을 달성합니다. 기판, 도가니, 소스 또는 기타 프로세스 구성 요소를 수용 할 수 있도록 최대 6 개의 카세트/보트 로딩 스테이션을 수용 할 수 있습니다. 원자로는 25 ° C ~ 1000 ° C의 온도 범위를 가열할 수있는 챔버 퍼니스 (Chamber Furnace) 를 사용하며, 챔버 내에서 온도 균일성과 안정성을 달성 할 수 있습니다. ABB U 형 RF 코일 유도, 가청 가스 흐름 미터 및 Multi-Way Mass Flow Controller는 Chamber Furnace와 통합되어 최대 온도 안정성을 제공합니다. 이 원자로는 비활성 가스 및 퍼지 장비를 사용하여 챔버의 대기 제어를 용이하게합니다. ABB UV-SiC 모듈은 추가 수준의 프로세스 제어 및 온도 균일성을 제공하기 위해 통합되었습니다. AMAT 0010-09750 원자로 (Reactor) 는 7x10-7 Torr까지 진공을 달성 할 수있는 고성능 고성능 진공 시스템을 사용합니다. 또한 고정밀 기판 리프터 (Substrate Lifter) 가 포함되어 있어 정확한 위치와 웨이퍼 기능을 사용할 수 있습니다. 또한, 원자로는 액체, 증기, 가스와 같은 다른 공정 매체와 인터페이스 될 수있다. 이것은 CSA가 승인한 * Glove Box Insert, Spherical Flange 및 Chemical Feed Through를 통합하여 다른 프로세스 미디어를 원자로에 올바르게 추가 및 제거 할 수 있도록 합니다. 원자로에는 또한 PLC 프로그래밍 가능한 제어 장치가 있으며, 프로세스 일관성 및 기록 유지 기능을 제공합니다. 사용자에게 친숙한 인터페이스 설계를 통해 사용자는 원자로 (reactor) 를 쉽게 작동하고 제어할 수 있습니다. 또한, 원자로의 유지 관리는 진공 타워 (vacuum tower) 와 가스 매니 폴드 머신 (gas manifold machine) 의 통합을 통해 촉진되며, 효과적인 작동을 위해 적절한 진공 수준을 유지하는 데 효율성을 제공합니다. 결론적으로 APPLIED MATERIALS 0010-09750 Reactor는 최첨단 기술, 최적화 제어 시스템, 고급 프로세스 기능을 갖춘 일체형 (All-in-One) 원자로로, 고급 제조 공정에 이상적이고 강력한 도구입니다.