판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #293626250

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750
ID: 293626250
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750은 기판 표면에서 얇은 필름을 재배하도록 특별히 설계된 원자로입니다. 3 가지 주요 구성 요소 (공정 챔버, 전원 공급 장치 및 적재 암) 로 구성되며 화학 증기 증착 (CVD) 및 플라즈마 강화 CVD (PECVD) 를 포함한 다양한 프로세스에 사용됩니다. 공정 챔버 (process chamber) 는 기판과 박막 재료가 원하는 온도로 가열되는 공기가 가득 찬 공간 (종종 진공 챔버 (vacuum chamber) 라고도 함) 으로 구성됩니다. 흔히 "퍼니스 '라고 불리우는 이 전원 공급 장치 는 공정" 챔버' 에 연결 되어 성장 에 필요 한 "에너지 '를 공급 한다. 로딩 암 (loading arm) 은 일반적으로 공정 챔버 (process chamber) 를지나 기판을 챔버 (chamber) 에 배치 할 수 있습니다. AMAT 0010-09750은 증착 프로세스를 모니터링, 제어, 최적화하는 고급 프로세스 제어 장비를 갖추고 있습니다. 또한 기판에 반응성 가스 및 전구체, 가열 배기 포트, 진공 장치, 다양한 전문 프로세스 공구 (process tooling) 및 고유 한 데이터 획득 기계를 공급하는 온보드 가스 전달 시스템 (on-board gas delivery system) 이 있습니다. 또한 고급 제어 도구 (Advanced Control Tool) 를 사용하여 배치 프로세스를 관리하고 프로세스 최적화를 신속하게 수행할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 0010-09750에는 자동 차단, 오염 방지, 핫 구성 요소와의 접촉을 방지하는 인터 록 (interlock) 등 다양한 안전 기능이 있습니다. 또한 프로세스 데이터 (Process Data) 를 기록하여 손쉽게 검토 및 분석할 수 있도록 자동화된 데이터 수집 자산을 보유하고 있습니다. 0010-09750은 다양한 기판 크기, 필름 두께, 공정 온도 등을 처리하도록 설계되었습니다. 일반적으로 실리콘, 티타늄 또는 질화 알루미늄과 같은 재료의 고온 어닐링 및 증착에 사용됩니다. 높은 처리량과 탁월한 프로세스 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750 (AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750) 은 기판 표면에서 얇은 필름을 성장시킬 수있는 고급적이고 신뢰할 수있는 원자로입니다. 고급 프로세스 제어 모델 (Advanced Process Control Model) 은 최적의 프로세스 품질을 보장하는 반면, 다양한 전문 툴링 및 안전 기능은 탁월한 프로세스 안정성과 효율성을 제공합니다. 이 "필름 '은" 필름' 속 에서 빠르고 신뢰 할 만한 방법 으로 자랄 필요 가 있는 사람 들 에게 이상적 이다.
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