판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #293618116

ID: 293618116
RF Match for P5000 Process: CVD.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750은 단일 웨이퍼, 열 처리 화학 증기 증착 원자로입니다. AMAT 0010-09750은 얇은 필름을 반도체 웨이퍼 및 기판에 증착시키는 데 사용되는 도구입니다. 이 장비의 반응 챔버 (reaction chamber) 는 원통형이며, 기질에서 필름의 균일 한 증착을 허용한다. 이 과정은 섭씨 200 ~ 400 도의 온도에서 뜨거운 수소 대기에서 수행됩니다. APPLIED MATERIALS 0010-09750의 반응 챔버에는 가스 및 공정 제어 장치가 장착되어 있습니다. 이 단위는 정확하게 제어 된 환경을 제공하여 모든 반응물 가스 (reactant gase) 의 정확한 흐름 및 분포를 허용합니다. 이는 반응 속도를 높여 수율을 높이고 제품 품질을 향상시킵니다. 기질 및 반응물 가스의 균일 한 가열을 보장하는 2 단계 가열 공정 (two-stage heating process) 도 기질에 균질 한 필름을 생성하는 시스템에서 사용된다. "필름 '의 성장 속도 와 표면 의 매끄러움 은 반응" 챔버' 의 출구 에 위치 한 "스로틀 '밸브 로 조정 할 수 있다. "필름 '의 반사 도 반응" 챔버' 에 위치 한 "셔터 '로 정확 하게 조절 할 수 있다. 셔터는 다양한 굴절률을 가진 고품질 필름을 생산하는 데 도움이됩니다. 0010-09750에는 컴퓨터 통합 모니터링 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계는 반응 챔버에 증착 속도, 온도 및 압력을 정확하게 기록하고, 더 나은 공정 제어를 허용합니다. 이 도구에는 또한 하드웨어 인터 록 (interlock) 과 증기 주입 제어 (vapor-injection control) 가 포함되어 있어 안전성과 생산 효율성이 향상되었습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750 원자로는 실리콘 산화물 및 실리콘 질화물 메모리 칩의 증착, LED 칩의 수동층, 트랜지스터 상호 연결을위한 질화물 및 산화물 필름 등 많은 응용 분야에 사용되었습니다. 이 자산은 고품질 박막 재료를 생산하기 위한 효과적이고, 안정적이며, 신뢰할 수 있는 도구입니다.
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