판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09750 #293592810

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09750 Reactor는 반도체 산업 응용을위한 박막 증착을위한 단일 웨이퍼 퍼로입니다. 연구, 개발 및 생산에 사용하기에 적합합니다. 이 원자로는 화학 증기 증착 (CVD) 및 물리적 증기 증착 (PVD) 기술을 사용하여 가스 전구체를 고체 물질로 변환합니다. 원자로는 내성과 RF 코일로 가열 된 석영 종 항아리를 특징으로합니다. 벨 항아리의 내부 직경은 12 인치 (30cm) 이고 높이는 20cm입니다. 이것은 원자로에 4.9 리터 부피를 제공합니다. 2 개의 가스의 균일 한 흐름을 보장하기 위해 Jar 바닥에 가스 유통 업체 (gas distributor) 가 설치됩니다. 2 단계의 펌핑을 통해 공정 챔버를 적절한 압력으로 유지 할 수 있습니다. 프로세스 컨트롤러를 사용하면 운영자가 온도, 가스 흐름 및 RF 전원을 제어 할 수 있습니다. AMAT 0010-09750 원자로의 온도 범위는 실온에서 1,200 ° C입니다. 또한, 프로세스 컨트롤러에는 작업을 보다 단순하고 효율적으로 수행할 수 있는 프로그램이 설치되어 있습니다. 또한, 원자로는 물 냉각과 단단한 진공 과정을 보장하는 펌핑 장비를 갖추고 있습니다. 수냉식 (water cooling) 은 과도한 로컬 가열을 제거하고, 시스템 온도를 장치 성능의 안정성과 안정성을 보장하는 범위로 유지하기위한 것입니다. 공정 통제 측면에서, 원자로는 광학 (optics) 과 기능성 재료 (functional materials) 의 증착뿐만 아니라 다양한 산업 절차에 적합한 환경을 제공한다. 고급 디자인은 증착 프로세스를 정확하고 반복적으로 제어합니다. 이것은 고품질 레이어를 만들 때 유익할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 0010-09750 Reactor의 하이엔드 제어기 (High-End Control Machine) 를 사용하면 다양한 프로세스 기능을 정확하고 일관되게 수행 할 수 있습니다. 프로세스의 매개변수는 필요한 경우 수정할 수 있으며, 나중에 사용하기 위해 저장할 수도 있습니다. 앞서 언급 한 바 와 같이, 이 도구 는 과도 한 국부 난방 을 방지 하고, 안전 한 온도 의 범위 를 유지 하는 데 도움 이 되는 수냉식 "에셋 '을 가지고 있다. 전반적으로 0010-09750 Reactor는 프로세스 제어 기능이 우수한 안정적이고 고성능 모델입니다. 일관된 계층 증착이 필요한 산업 및 연구 응용 분야에 이상적인이 다재다능한 원자로는 다양한 CVD 및 PVD 기술에 적합한 선택입니다.