판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416W #9148699

AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416W는 빠른 열 처리 (RTP) 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 테이퍼 형 쿼츠 원자로입니다. 그것 은 "웨이퍼 '" 샘플' 을 급속 히 가열 하고 냉각 할 수 있게 하기 때문 에 반도체 처리 에 이상적 이다. 원자로는 석영 챔버로 구성되며, 2 개의 반대 피라미드가 중심을 향해 안쪽으로 가늘어집니다. 또한 2 개의 플랜지 (위쪽에 1 개, 아래쪽에 1 개) 가 포함되어 진공 장비를 연결할 수 있습니다. 석영 챔버는 공기가 단단하도록 정밀 가공되어 있으며, 최대 1000 ° C의 온도에도 견딜 수 있습니다. "쿼츠 '재료 는 빠른 난방 과 냉각 주기 를 촉진 하기 위하여 높은" 쇼크' 내성 으로 선택 되었다. 또한 "챔버 '의 내부 벽 에는 반사 물질 이 입혀져 있는데, 이것 은 그 안 에 놓인 기판 들 을 골고루 가열 시킬 수 있게 해 준다. 원자로의 벽은 또한 독립적 인 가열, 냉각, 대기 압력 제어를 가능하게하도록 설계되었습니다. 원자로의 상단 플랜지에는 2 개의 듀멧 밀봉, 인터 로킹 가능한 쿼츠 캡이 있습니다. 이 모자 들 은 "가스 '를 불활성 시키거나 원자로 내부 에 반응 혼합물 을 넣는 데 도움 이 되는, 안전 한 봉인 을 제공 한다. 하단 플랜지에는 2 개의 추가 듀멧 밀봉 석영 캡이 포함되어 있으며, 이는 원자로를 외부 진공 시스템에 연결하는 데 사용될 수 있습니다. 이로써, 챔버 내부의 진공압은 최적의 처리 조건에 맞게 정확하게 제어 될 수 있습니다. 전체 원자로 설계는 반복 가능하고 안정적인 작동을 위해 설계되었습니다. 고효율 난방 장치 (Hi-efficiency heating unit) 를 통해 전체 챔버가 RTP 응용 프로그램의 원하는 온도에 빠르게 도달 할 수 있습니다. 이렇게 하면 처리 시간을 단축하는 동시에, 고품질 결과를 얻을 수 있습니다. 또한, 열 가동 방지를 돕는 고급 냉각기 (Advanced Cooling Machine) 가 있으며, 샘플이 고르게 및 빠르게 냉각되도록 보장합니다. AMAT 0010-09416W 테이퍼 쿼츠 (Tapered Quartz) 원자로는 강력하고 안정적인 도구로서 빠르고 효과적인 신속한 열 처리를 지원합니다. 다양한 RTP 애플리케이션에서 정확성과 반복성을 보장하기 때문에 모든 실험실 (Laboratory) 또는 산업용 (Industrial Process) 에 적합한 툴입니다.