판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09416 #293824898

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09416은 고급 반도체 재료 제조를 위해 설계된 고성능 원자로입니다. 이 원자로는 유기 (organic) 및 무기 (organic) 모두 다양한 반도체 물질을 생산하는 데 사용될 수있다. 단일 웨이퍼, 생산 형 원자로이며, 최대 300mbar의 압력과 제어 가능한 대기에서 실온과 1500 ° C 사이의 온도 사이에서 작동 할 수 있습니다. 원자로는 진공 밀봉 출구, 조절 가능한 샘플 히터, 세라믹 단열재, 스테인리스 플랜지, 질량 흐름 컨트롤러, 입구 포트 및 콘센트 포트가 장착 된 테이퍼 석영 튜브로 구성됩니다. 석영 튜브는 적외선 램프를 사용하여 가열됩니다. 작동 중 에, "시료 '혹은" "웨이퍼'" 는 가열 된 "샘플 히터 '위 에 놓여 있으며, 원자로 의" 컴퓨터' 로 조절 할 수 있는 여러 가지 온도 와 압력 에 노출 된다. 표면의 표면을 물리적 증기 증착 (PVD) 및 화학 증착 (CVD) 을 포함한 다양한 공정을 사용하여 수정 및 에칭 할 수 있습니다. 이 원자로의 다른 기능에는 조절 가능한 가스 유량을 갖는 산소/질소/아르곤 혼합물 가스 소스; 기본 압력 10-6 Torr의 초고 진공 시스템; 기질을 최대 1500 ° C까지 빠르게 가열 할 수있는 온도 경사 시스템; 그리고 초고온 어닐링 챔버. 또한, 특정 웨이퍼 요구사항에 대해 원자로의 공정 매개변수를 조정할 수있다. AMAT 0010-09416 원자로는 갈륨 비소, 실리콘 카바이드 및 저마늄 질화물과 같은 반도체 물질을 포함한 다양한 화합물을 합성하는 데 사용될 수있다. 이 원자로는 매우 효율적이며, 높은 생산량을 달성하는 데 사용될 수 있습니다. 또한 매개변수가 특정 요구사항을 충족하도록 사용자 정의될 수 있으므로, 매우 다양합니다. 그 용도 가 높으면, 그것 은 고급 반도체 재료 제조 에 이상적 인 "원자로 '이다.