판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09010 #293658075

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09010은 원통형 반응 챔버로 구성된 원자로 (일반적으로 길이는 약 5 피트, 직경은 최대 1.5 피트) 입니다. 이 원자로는 상단을 통해 적재할 수 있도록 설계되었으며, 쉽게 적재할 수 있도록 리프트 (lift) 시스템을 갖추고 있습니다. 직경이 최대 8 "인 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. 이 원자로는 반응 챔버 (reaction chamber) 를 둘러싸고 다양한 압력, 온도, 가스 수준으로 유지되는 몸으로 구성되어 있습니다. 약실은 가스 타이트 (gas-tight) 이며 다른 공정 단계의 교차 오염을 방지하도록 설계되었습니다. 또한, 이 원자로는 고객의 요구에 맞게 다양한 구성으로 사용자 정의할 수 있습니다. 기판 (또는 표본) 은 상단 이송 튜브 (top feed tube) 를 통해 원자로 (reactor) 에 도입 된 후 가공 챔버 (processing chamber) 의 하단으로 들어 올린 다음 상승 플랫폼에 로드됩니다. 그런 다음 회전하는 리볼버 스타일 히터 (rolver-style heater) 를 사용하여 공정 가스를 가열하고 펌핑하고 온도와 압력을 제어하며, 온도와 압력 (controller) 을 제어합니다. 기판 이 처리 된 후, 그것 은 진공 "매니폴드 '로 대피 되며, 거기서" 컨테이너' 를 부착 할 수 있다. 원자로의 비 진공 성분은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며, 진공 호환 플랜지 및 커넥터에는 다른 재료가 사용됩니다. 진공 구성 요소에는 일반적으로 세라믹 인서트 (ceramic insert) 로 구성된 알루미늄 블레이드 (aluminum blade) 가있는 용접 스테인리스 스틸 바디 (stainless steel body) 가 포함되어 있어 더 나은 봉인을 가능하게하며 오염을 줄이기 위해 설계되었습니다. 원자로는 또한 압력 센서, 산소/가연성 가스 센서, 냉각수 센서 등 다양한 안전 및 모니터링 조치를 가지고 있습니다. 또한, 원자로는 과열 (over-temper) 또는 과압 (over pressure) 상황의 경우 가청 및 가시성 경고를 제공합니다. 또한, 원자로는 비상 사태의 경우, 이를 차단하기 위해 자동화 된 시스템을 제공합니다. 전반적으로, AMAT 0010-09010 원자로는 신뢰할 수 있고 견고한 시스템으로, 고객의 요구 사항을 충족할 수 있도록 사용자 정의할 수 있으며, 완벽한 안전/모니터링 (Safety/Monitor) 기능을 제공하여 프로세스 결과의 안전성과 품질을 보장합니다.