판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-09001 #293658034
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AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-09001은 반도체 산업을위한 매우 고급 원자로 도구입니다. 원자로 는 화학 증기 증착 과정 을 이용 하여 "실리콘 '과 같은 여러 가지 물질 을, 정밀 한 조절 을 가진 기판 에 증착 시킨다. 이 기술은 반도체 장치 (예: 집적 회로 및 기타 전자 부품) 제조에 필수적입니다. AMAT 0010-09001 원자로 장비에는 주택 단위와 챔버 어셈블리가 모두 포함됩니다. 주택 장치에는 전원 공급 장치, 컨트롤러, 다양한 밸브/펌프와 같은 시스템의 기능 구성 요소가 들어 있습니다. 챔버 어셈블리는 실제 생산 프로세스가 발생하는 곳입니다. 약실에는 가스 원, 온도 조절 시스템 및 증착원이 포함되어 있습니다. 화학 증기 증착 과정은 챔버 내부에서 발생합니다. "가스 '원 은" 가스' 를 약실 에 전달 한 다음 정밀 한 비율 로 혼합 하여 원하는 반응 을 일으킨다. 일단 혼합 되면, "가스 '를 가열 하여 동요 시켜서, 기질 에 증착 될 수 있는 더 작은 입자 들 로 분리 시킨다. 많은 증착 기체가 기질의 표면 온도 위로 가열됩니다. 이를 통해 재료의 증착 특성 (예: 접합 깊이) 을 훨씬 더 잘 제어 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 0010-09001 원자로 장치는 가스 소스 히터와 에치 소스 히터 (etch source heater) 의 두 가지 주요 온도 제어 부품을 사용합니다. "가스 '원 히터 는" 가스' 원 을 약실 로 배달 하기 전 에 가열 시킨다. 또한 가스 혼합물을 정확하게 제어하는 데 도움이됩니다. 에치 소스 히터 (etch source heater) 는 증착 전에 기판 표면을 가열하여 오염 위험을 줄입니다. 이 기계는 또한 여러 특수 프로세스를 사용하여 품질 결과와 정확한 결과를 보장합니다. 예를 들어, 이온 빔 보조 에치 프로세스는 증착 재료의 품질을 높이고 에치 손상을 줄이는 데 도움이됩니다. 혈장 증착 과정은 프로세스 중 입자 결함을 줄이는 데 도움이됩니다. 전반적으로, 0010-09001 원자로 도구는 반도체 제조가 매우 안정성과 반복성으로 필요한 재료를 정확하게 배치하기위한 뛰어난 도구입니다. 정밀하고 일관된 결과를 제공하므로, 반도체 장치 제작에 적합한 선택입니다.
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