판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-04450 #9017807

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-04450 Reactor는 반도체 및 LED 장치 제조업체를 위한 독특한 고성능 솔루션입니다. 이 단일 웨이퍼 원자로는 균일 한 온도 분포, 고급 가스 흐름 제어 (advanced gas flow control) 및 단단한 온도 제어 덕분에 우수한 공정 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 모듈식 (modular) 설계를 통해 다른 장비와 쉽게 통합 할 수 있으며, 최소 설치 공간은 소규모 생산 시설에 적합합니다. AMAT 0010-04450 원자로는 균일 한 온도 분포, 고급 가스 흐름 제어 (advanced gas flow control) 및 단단한 온도 조절로 인해 민감 한 기판을 쉽고 안정적으로 처리 할 수 있도록 특별히 설계되었습니다. 고급 다중 영역 열 제어 장치 (Multi-Zone Thermal Control Equipment) 를 통해 최대 4 개의 서로 다른 영역을 프로그래밍 할 수 있습니다. 이를 통해 웨이퍼 및 LED 기판을 처리 할 때 온도, 전력 및 대기를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이 다중 영역 제어는 또한 다른 피드 주석 및 다른 레시피에서 균일 한 열 처리를 보장합니다. 원자로에는 종합적인 센서 및 모니터 세트가 장착되어 있습니다. 이 들 은 "에너지 ', 증착률," 가스' 흐름 과 같은 다른 중요 한 조건 들 뿐 아니라 약실 의 온도 와 대기 도 감시 한다. 이를 통해 여러 배치 간에 일관된 결과를 얻을 수 있으며, 시중의 대부분의 다른 시스템에서는 반복 가능성과 정확성을 보장할 수 있습니다. 탁월한 열 특성뿐만 아니라 APPLIED MATERIALS 0010-04450 원자로도 모듈식 설계를 갖추고 있습니다. 이를 통해 시스템은 광학 검사 시스템 (optical inspection system) 과 같은 다른 시스템과 쉽게 통합되어 인라인 (in-line) 반도체 생산을 가능하게합니다. 최소 설치 공간은이 유닛이 소규모 생산 시설 또는 실험실 내 평가판 (in-lab trial and development) 실행에 완벽하게 사용됩니다. 전반적으로, 0010-04450은 균일 한 온도 분포, 고급 가스 흐름 제어, 단단한 온도 조절, 종합적인 센서 및 모니터 세트 덕분에 우수한 공정 결과를 제공하는 단일 웨이퍼 (single-wafer) 원자로입니다. 모듈식 (modular) 설계를 통해 다른 시스템과 쉽게 통합할 수 있으며, 작은 설치 공간은 소규모 (small production) 실행에 이상적입니다. 첨단 열 제어 및 모니터링 머신을 사용하는 이 원자로는 반도체 (반도체) 및 LED (LED) 장치 생산에 적합한 솔루션입니다.