판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03843 #9269048

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03843은 얇은 필름을 기판에 배치하도록 설계된 증기 증착 원자로입니다. 원자로는 금속 산화물 (metal oxide) 재료를 사용하여 작업 할 수 있으며, 다양한 박막 특성을 원하는 단일 또는 다중 계층 증착 (multilayer deposition) 을 만들 수 있습니다. 원자로의 디자인은 초저강착 챔버 압력 (ultra-low deposition chamber pressure) 을 가지며 기판을 가열하기위한 무선 주파수 원 (frequency source) 을 특징으로합니다. 원자로에는 열전달이 효율적이고, 내면의 온도를 상당히 일관되게 유지하기 위해 석영 벽 (quartz wall) 이 장착되어 있습니다. 포함 된 전자 레인지 전력은 특허를받은 "공랭식 (air-cooled)" 디자인으로 에너지 손실을 줄이는 데 도움이 됩니다. 원자로 (reactor) 는 수직 방향이 있는 중압 (neutral pressure) 유형이므로 기판 양쪽에 재료를 배치 할 수 있습니다. 기판은 효율적인 열 전달을 위해 WCGF (Water Co-current Gas Flow) 가있는 LTM (Low Thermal Mass) 웨이퍼 홀더에 보관됩니다. 이 "홀더 '는 원자로 의 바닥 에 위치 하여, 나중 에 더 많은 재료 들 을 쉽게 수집 할 수 있게 한다. 이 설계 는 조정 가능 한 압력 "가스 '와 더불어 반도체 제작 을 위한 다층" 필름' 을 만들기 위한 완전 한 "시스템 '이 된다. 또한, 원자로에는 디자인에 통합 된 몇 가지 안전 기능이 있습니다. 여기에는 원자로 작동 중 어느 시점에서 유독 한 연기가 있음을 감지하고 안전하지 않은 수준이 감지 될 경우 종료 할 수있는 수많은 휘발성 유기 화합물 (VOC) 센서 (VOC) 가 포함됩니다. 원자로에는 또한 잠재적 인 가스 화재에 대한 화염 체포 및 접지 시스템이 있습니다. 전반적으로, AMAT 0010-03843 증기 증착로 (vapor deposition reactor) 의 디자인은 다중 계층 필름을 증착하는 동안 사용자에게 최대의 유연성을 제공하고, 운영자의 안전을 보장하는 안전 기능을 제공합니다. 조정 가능한 압력과 추가 장비로, 품질 및 정밀도를 보장하기 위해 원자로를 안정적이고 견고한 박막 (Thin Film) 멀티 레이어 필름 (Multilayer Film) 을 만들려고하는 사람들에게 완벽한 시스템으로 만듭니다.