판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03840 #293591045

ID: 293591045
웨이퍼 크기: 8"
Producer heaters, 8".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03840 Reactor는 제조업체가 뛰어난 수준의 정확도로 반도체 부품을 빠르게 만들 수 있도록 설계된 정밀 플라즈마 에치 도구입니다. 원자로 의 전반적 인 설계 는 최대 의 유연성 을 제공 하는 고도로 모듈식 "디자인 '에 기초 를 두고 있다. 이를 통해 장비 내의 다양한 구성 요소를 빠르고 쉽게 액세스하여 유지 보수 (maintenance) 또는 교체 (replacement) 할 수 있습니다. AMAT 0010-03840 원자로 (Reactor) 는 고급 반도체 장치 생산과 같은 다양한 응용 분야에 적합합니다. 이 시스템의 주요 특징으로는 3 인치 탑로드 열 소스 (top-loading thermal source) 가 있으며, 다양한 에치 프로세스에 적합한 넓은 영역에 고밀도 에너지 플라즈마를 생성합니다. 이 장치는 또한 고급 온도 균일성 제어를 특징으로하며, 모든 기질 처리 동안 균일 한 웨이퍼 온도를 보장합니다. 또한, 이 기계는 완전 자동화된 프로세스 제어 기술을 제공하여 제조업체가 가스 유량 (gas flow rate), 전력 (power) 및 기판 온도 조합을 자동으로 제어하여 프로세스 정확도를 향상시킬 수 있습니다. 모듈식 (Modular) 설계에는 첫 번째 웨이퍼 (Wafer) 에서 마지막 웨이퍼 (Last Wafer) 까지 안정적인 에치 프로세스를 보장하는 다양한 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능에는 비활성 가스 전달 도구, 자동 결정 방향 감지 및 정확한 수직 좌표 자산이 포함됩니다. 응용 물질 0010-03840 원자로 (APPLIED MATERIALS 0010-03840 Reactor) 는 직경 최대 6 "의 기판 처리를 수용하도록 설계되었으며, 제어 된 가스 전달 및 정밀한 에치 형상을위한 기판을 안전하게 보관하는 통합 기판 홀더를 제공합니다. 이 모델은 양면 발자국 제어 및 빠르고 편리한 작동을 위해 대형 화면, 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 제공합니다. 정확하고 반복 가능한 레시피가 유지되도록 장비는 고급 소프트웨어 시스템 (advanced software system) 을 활용하여 에치 (etch) 프로세스를 지속적으로 모니터링합니다. 소프트웨어 유닛 (Software Unit) 은 프로세스 변수를 기록하여 매번 원하는 결과를 반복적으로 재현할 수 있습니다. 마지막으로, 0010-03840 원자로는 열악한 산업 환경에서 긴 수명을 보장하기 위해 고품질 재료로 구성됩니다. 이 정밀 플라즈마 에치 (plasma etch) 도구의 기능을 활용하여 제조업체는 더 높은 수준의 정확도와 향상된 수율을 가진 컴포넌트를 만들 수 있습니다.
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