판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03500 #293670004

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03500은 화학 증기 증착 (CVD) 프로세스에 사용되는 원자로입니다. 금속, 반도체, 유전체 및 유기 화합물의 박막을 다양한 기판에 적용하는 데 사용되는 특수 공정 장비 (specialized of process equipment) 입니다. CVD 원자로는 열 및 화학 공정을 사용하여 물질을 기화 한 다음 기판에 증착 시킨다. 이 CVD 원자로에는 수평 또는 수직 구성으로 사용하도록 설계된 공랭식 핫 플레이트가 있습니다. 핫 플레이트에는 3 개의 존 (zone) 이 있으며, 기판의 정확한 온도 조절이 가능하며, 전체 기판에서 균일 한 증착을 허용하도록 설계되었습니다. 원자로는 또한 온도 범위가 1000 ° C, 내성이 ± 1% 인 고르게 가열되도록 설계된 멀티 존 쿼츠 히터 (multi-zone quartz heater) 를 특징으로합니다. 원자로는 실리콘, 알루미늄, 갈륨 비소, 인화 인듐, 탄소 및 금속 유기 화학 물질과 같은 광범위한 물질과 함께 작동하도록 설계되었습니다. 원자로는 또한 산화 공정을 위해 질소, 아르곤, 수소를 포함한 다양한 운반체 기체와 함께 작동하도록 설계되었습니다. AMAT 0010-03500 CVD 원자로는 두꺼운 필름 처리, 반도체 제작을위한 RTP (Rapid Thermal Processing), 박막 증착 및 MEMS 호환 필름 처리를 포함한 다양한 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 가열된 면적과 조절 가능한 가스 흐름은이 원자로를 대규모 응용에 적합하게 만듭니다. 원자로에는 또한 가스 매니 폴드 (gas manifold) 가 장착되어 있어 CVD 과정에서 여러 가스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. "가스 '선 에는 질량 의 흐름" 컨트롤러' 가 장착 되어 있는데, 이것 은 "가스 '가 원자로 로 흐르는 속도 를 정확 하게 조절 하는 데 사용 된다. 이를 통해 광범위한 기판 및 제품 유형에 대한 재생성 가능한 CVD 반응이 보장됩니다. 응용 재료 0010-03500 CVD 원자로는 안전과 편의를 염두에 두고 설계되었습니다. PMM (Power Monitoring Module) 은 핫플레이트 및 쿼츠 튜브 요소와 안전 인터 록에 대한 전원 모니터링을 제공합니다. 원자로는 또한 압력 센서, 지상 결함 인터럽터, 진공 인터 록 (vacuum interlock) 과 같은 다양한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 모든 기능을 통해 0010-03500 CVD 원자로는 안정적이고, 안전하며, 유연한 공정 장비입니다.