판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #9069114

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254 또는 AMAT 0010-03254 원자로는 주로 반도체 웨이퍼 처리 응용 프로그램 제조에 사용되는 도구입니다. APPLIED MATERIALS 0010-03254 원자로는 UP3000 폴리실리콘 증착실, View 5000 e-gun Excitation 및 Batch Vacuum Furnace 9400을 포함하여 매우 정밀 챔버를위한 여러 구성 요소가 설치된 고급 장비입니다. 이 다재다능한 시스템은 LPCVD 및 Rapid-Thermal-Processing 기술에서 Sputtered Deposition for inter-layer dielectric까지 다양한 유형의 프로세스를 허용합니다. UP3000 Polysilicon Deposition Chamber는 여러 유형의 프로세스에 대해 구성 할 수있는 대규모 처리 선박입니다. 특허를받은 이중 촉매 가스 전달 장치 (dual-catalyst gas delivery unit) 가 있어 증착율을 정확하게 제어 할 수 있습니다. View 5000 E-gun Excitation Machine은 증착 과정의 효율성을 향상시키는 데 사용되는 고출력, 펄스 구동 전자 흥분 도구입니다. 최대 전력은 160kV이고 펄스 길이는 1 마이크로 초입니다. 또한, 자석 제트 노즐 (magnetic jet nozzle) 이 장착되어 증착 과정을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 마지막으로, Batch Vacuum Furnace 9400은 다단 공정 챔버로, 빠른 열 어닐링 및 산화물 제거와 같은 다양한 고온 응용 프로그램을 수행 할 수 있습니다. 최대 온도 1300 ° C이며, 조정 가능한 시간 및 온도 프로파일로 실시간 온도 프로파일링을 갖추고 있습니다. 전반적으로 0010-03254 원자로는 고정밀 반도체 웨이퍼 처리 산업을위한 강력한 도구입니다. 증착 프로세스 (deposition process) 와 다용도 응용 프로그램 (application) 에 대한 매우 정확한 제어를 제공합니다. 다양한 일체형 (integral) 구성요소를 통해, 광범위한 반도체 제작 프로세스에 탁월한 성능과 신뢰성을 제공할 수 있습니다.