판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293769609

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254는 다양한 재료의 박막 스퍼터링을 위해 설계된 생산 수준, 고효율 PVD 원자로입니다. AMAT 0010-03254는 독립형 300mm 웨이퍼 카세트-카세트 공구로, 고성능 스퍼터링 증착과 독립 공정 챔버를 사용하여 여러 금속 및 금속 산화물 재료 층을 동시에 증착시키는 기능을 제공합니다. PM 챔버에는 독특한 "회전 마그네트론 소스 (Rotating Magnetron Source)" 가 장착되어 있으며, 기존 평면 대상 및 원통형 대상을 포함한 다양한 대상 재료를 사용하여 균일 한 레이어 두께를 만들 수 있습니다. 또한, 향상된 ETM (Rotating Target Management Equipment) 을 장착하여 사이트 수준의 제어 및 균일성을 향상시키고, 입자 오염을 줄이기 위해 로드 잠금 설계를 개선했습니다. 원자로 제어는 프런트엔드 (Front-End) 전용 자동화 및 제어 시스템을 사용하여 이루어집니다. 이 장치는 신속한 설치 및 레시피 최적화, 통계적으로 제어되는 품질 보장, 핫 웨이퍼 로딩 (hot wafer loading) 기능을 제공합니다. 이는 연약한 반응물 가스에 대한 손상을 최소화하고, 동시에 유지 관리 비용을 절감하고, 에너지 소비를 줄일 수 있는 이점을 제공합니다. 또한, 기계는 단일 챔버 및 다중 챔버 작동을 모두 지원하여 유연한 프로세스 강화를 가능하게합니다. 기계 설계 측면에서, APPLIED MATERIALS 0010-03254는 빠른 장비 변경 및 도구 유지 관리를 위해 고급 펌프 다운 (Pump-Down) 아키텍처를 갖추고 있습니다. 또한, 이 도구는 고급 다이어프램 (diaphragm) 및 백킹 펌프 (backing pump) 를 사용하여 증착실에서 높은 진공 수준을 만들 수 있습니다. 또한, 원자로에는 고정밀 드라이브 시스템, 최적화 된 가스 분배, 향상된 가스 청소가 장착되어 성능 및 효율적인 필름 증착이 가능합니다. 0010-03254 원자로의 핵심에는 AMAT 검증된 MDP4 (4 개의 챔버에 대한 최대화 된 데이터 처리) 컨트롤러 플랫폼이 있습니다. 이 플랫폼은 우아한 레시피 관리를 가능하게 하며, 통계적 프로세스 제어 및 높은 수준의 수익률 최적화를 지원합니다. 또한, MDP4 컨트롤러는 트렌드 분석 (trend analysics) 및 사용자 정의 분석 (custom-analytics) 을 가능하게하며, 이를 통해 운영자는 진행 중인 재료의 메커니즘과 동작에 대한 강력한 통찰력을 생성 할 수 있습니다. 요약하자면, AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254는 뛰어난 성능과 프로세스 유연성을 지닌 강력한 생산 수준의 PVD 원자로입니다. 첨단 기계 설계, 자동화, 제어 도구 (Control Tool) 를 결합하면 박막의 빠른 증착과 특정 금속 및 금속 산화물 재료의 여러 층의 증착을위한 이상적인 도구가 될 수 있습니다. 따라서 AMAT 0010-03254 원자로는 다양한 스퍼터링 응용 프로그램에 이상적입니다.