판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293665750

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254는 광범위한 산업 공정에 사용하기 위해 AMAT, Inc.에서 만든 원자로 장비입니다. FE (Front End) 반도체 장치 제조에 사용될 때 생산, 정확도 및 프로세스 제어를 개선하도록 특별히 설계되었습니다. 원자로 시스템은 가열된 반응성 플라즈마 (heated and cooled reactive plasma) 의 조합을 사용하여 표면에 물질을 정확하고 정확하게 퇴적시키는 데 사용될 수있는 화학 반응을 만듭니다. AMAT 0010-03254는 스테인리스 스틸 반응 챔버, 고주파 자기 발전기, 1 단계 고전압 커플 링 변압기, 고전압 플라즈마 소스 및 발전기 구동 RF 전원으로 구성됩니다. 가열되고 냉각 된 반응성 플라즈마는 마그네트론 (magnetron) 에 의해 생성되고 고주파 생성기 (high frequency generator) 에 의해 구동된다. 그런 다음, 고전압 커플 링 트랜스포머 (high voltage coupling transformer) 는 반응 챔버에 대한 전압 및 전류의 플라즈마 전달을 정확하게 조절 할 수있다. 응용 자료 0010-03254 (APPLIED MATERIALS 0010-03254) 는 프로그램 가능한 컨트롤러로, 사용자가 특정 요구에 맞게 프로세스를 사용자 정의하도록 열 및 반응 매개변수를 조정할 수 있도록 합니다. 반응 챔버는 증착 전에 산화 및 수동산염 표면을 생성하기 위해 반응성 질소, 산소, 수소, 염소를 생성 할 수있다. 반응 챔버는 또한 아르곤, 크립톤, 제논, 헬륨과 같은 피드 가스를 높은 정확도로 제어함으로써 높은 순도 증착을 달성 할 수있다. 0010-03254는 특수 화학 기계 연마를 위해 프로그래밍 된 시야, 압력, 열, 가스 제어를 통해 정밀도 및 제어를 위해 설계되었습니다. 그것 은 "샘플 '과" 카세트' 의 들어오고 나가는 것 을 허용 할 수 있는 적재실 을 가지고 있으며 건조 화학 과 습윤 화학 을 위한 통합 된 "가스 '배달 을 하고 있다. 원자로 장치는 복원 가능한 엔드 스테이션과 쿼츠 (quartz) 또는 흑연 웨이퍼 보트 (graphite wafer boat) 지원으로 최대 8 개의 웨이퍼를 유지할 수 있습니다. 또한 다른 웨이퍼 보트 예열 기술을 제어하기위한 추가 온도 입력이 있습니다. 요약하면, AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254는 반도체 생산 및 제작의 프로세스 제어 및 정확성을 높이기 위해 설계된 다기능 원자로 기계입니다. 스테인리스 스틸 반응 챔버, 고주파 자기 발전기, 고전압 커플 링 변압기, 고전압 플라즈마 소스, 발전기 구동 RF 전원 공급 장치가 특징입니다. 프로그래밍 가능한 컨트롤러를 통해 사용자는 특정 요구에 맞게 프로세스를 사용자 정의할 수 있으며, 로드 록 챔버 (loadlock chamber), 복원 가능한 엔드 스테이션 (end station) 및 통합 가스 배달을 제공합니다. 또한, 다른 웨이퍼 보트 예열 기술을 제어하기위한 추가 온도 입력이 있습니다.