판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03254 #293596912

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03254 원자로는 플라즈마 강화 화학 증발 (PECVD) 을 위해 설계된 범용 에치 원자로입니다. 챔버 크기가 30 "x 30" (76.2cm x 76.2cm) 인 중대형 생산에 사용하도록 설계되었습니다. 원자로는 차가운 벽 원통형 챔버를 사용하는데, 이는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 과 흑연 안감 (graphite lining) 으로 구성됩니다. 흑연 안감 (graphite lining) 은 챔버 내에서 고갈 된 표면의 수리를 허용하면서 열 분산 (thermal dispersal) 을 제공하여 챔버의 열 응력을 최소화하는 데 도움이됩니다. 챔버에는 또한 열분해 붕소 질화물 (PBN) 플랫폼과 양극 후드가 포함됩니다. 원자로에는 단일 주파수 13.56 MHz VHF RF 전원이 장착되어 있으며 전력 범위는 250-500 와트입니다. 이 장비는 클린 룸 (Cleanroom) 환경에서 사용하도록 설계되었으며, 원격 통신을 위한 진공 정격 뷰 포트 창과 I/O 커넥터가 함께 제공됩니다. 원자로 (Reactor) 는 또한 프로그래밍 가능성을 갖추고 있으며, 레시피 사전 설정을 허용하며, 제어 및 유연성을 향상시키기 위해 최대 50 단계 프로그램을 선택할 수 있습니다. 레시피 사전 설정은 가스 흐름, 가스 혼합물, 압력, RF 전력, 노출 시간, 바이어스 및 온도와 같은 다양한 프로세스 매개 변수를 제공합니다. 이 시스템은 과압 모드 (overpressure mode) 와 압력 유지 보수 (pressure maintenance) 를 갖추고 있으며, 사용자가 신속하게 챔버를 대피시켜 입자 오염을 줄이는 데 도움이됩니다. 이 장치에는 PBN 플랫폼 용 온도 조절 장치 (Temperate Control Machine) 도 함께 제공되며, 이는 증착률 및 구성에 대한 추가 제어 기능을 제공합니다. 원자로는 뛰어난 균일성을 제공하며 0.5% 의 프로세스 단계 반복성을 달성 할 수 있습니다. 또한 온도 균일성은 최대 0.2% 이며 타임 아웃 및 마이크로 피드백에서 0.2 %/0.5% 의 쿼츠 안정성을 제공 할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT 0010-03254 Reactor는 고급 PECVD 어플리케이션을 위한 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다.