판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-01286 #9043519

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-01286
ID: 9043519
MCA E-Chuck ESC, 12".
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-01286 원자로는 고급적이고 신뢰할 수있는 인라인 CVD (화학 증기 증착) 공정 장치입니다. 이 제품은 반도체, 광학 장치, 평면 패널 디스플레이, 기타 관련 제품 등 전자제품 (opto-electronic device) 을 대량으로 생산할 수 있도록 설계되었습니다. 원자로는 RF (무선 주파수) 유도에 의해 가열되는 석영선 반응 챔버를 사용한다. 이 챔버에는 가스 입구, 폐수 콘센트, 기판 홀더 및 웨이퍼 로더/언로더가 포함되어 있습니다. 원자로는 알루미늄, 티타늄, 구리, 실리콘 등 다양한 재료의 박막을 기판에 증착 할 수있다. 또한 산화물, 질화물 및 수소 수동화 된 필름뿐만 아니라 붕소, 인, 비소 및 갈륨과 같은 도펀트를 증착 할 수 있습니다. 원자로는 증착 물질에 따라 최대 1100 ° C (1100 ° C) 의 온도에서 작동 할 수 있으며, 높은 수준의 균일 성을 유지합니다. AMAT 0010-01286 은 원격 웨이퍼 로딩 및 기판 홀더로 언로드, 온보드 모니터링 및 제어 기능을 제공합니다. 이것은 증착 과정의 정확성과 반복성을 보장합니다. 원자로는 고정밀 공기 압력 밸브 (high precision air pressure valve) 를 사용하여 여러 가스의 펄스 흐름 제어를 통해 공격적인 공정 흐름을 허용합니다. 이것은 표적 기질에서 유지 된 고온에서 부분 전하를 갖는, 높은 정도의 예금 균질성을 제공한다. 16 개의 공정 가스와 고효율 흐름 제어를 사용하여 APPLIED MATERIALS 0010-01286 은 유연성과 소프트 (soft) 생산 주기 곡선 전환을 달성하여 빠른 생산 속도 변경을 가능하게 합니다. 자동 터치스크린 사용자 인터페이스 (Automated Touchscreen User Interface) 는 빠른 설치 및 유지 관리, 손쉬운 작동 및 원자로 운영 모니터링을 위해 설치됩니다. 높은 안전 표준은 0010-01286 년에 유지되며, 이중 안전 경보와 긴급 셧다운으로 인해 위험한 상황이 발생하지 않습니다. 사용자 친화적 인터페이스와 결합된 고성능 (HPI), 안정성 (안정성) 을 통해 프로세스 반복성, 균일성, 전반적인 효율성이 필요한 어플리케이션에 적합합니다.
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