판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-01286 #293663303

AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-01286
ID: 293663303
MCA E-Chuck.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-01286 원자로는 높은 진공 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 이 유형의 원자로는 반도체 업계에서 트랜지스터 (Transistor), 집적 회로 (Integrated Circuit), 기타 전자 시스템 부품 등 마이크로 전자 장치 용 결정을 생산하는 데 사용됩니다. 원자로 는 원하는 원소 의 얇은 "필름 '을 제품 표면 위 에 강착 시킴 으로써 작용 한다. 이 공정 은 종종 산화물, 질화물, 혹은 그 를 코팅 하는 다른 물질 들 의 "코우팅 '을 만드는 데 사용 된다. AMAT 0010-01286 원자로는 최대 1200 ° C의 온도에서 박막 금속 층의 강착을 위해 고온과 함께 사용하도록 설계되었습니다. 원자로는 젖은 화학 반응 챔버 (wet-chemistry reaction chamber) 와 얇은 필름의 효율적인 증착을위한 마이크로파 플라즈마 소스를 특징으로합니다. 플라즈마 소스는 제품에 대한 높은 수율 및 반복 가능한 증착 프로파일을 보장합니다. 방은 진공 장비를 통해 압력 조절 (pressure-control) 되고, 공정 모니터링은 온도 조절 시스템을 통해 수행된다. 원자로는 반응 챔버에 공정 가스 입구 (process gas inlet) 와 공정 배기 장치를 함유한다. "가스 '입구 는 전구체" 가스', 예 를 들면 "실리콘 '을 코팅 하기 위한" 실레인 가스' 를 도입 하고 그 과정 에 필요 한 운반체 를 도입 하는 데 사용 된다. 공정 배기 기계 는 반응 의 산물 (예: 비작용 분자) 을 제거 하고, 반응 "챔버 '에서 물 을 제거 하여 반응" 챔버' 가 과열 되는 것 을 방지 한다. APPLIED MATERIALS 0010-01286 원자로는 또한 반응 조건이 비정상적이되면 반응 과정을 멈출 수있는 연동 기능을 특징으로합니다. 이는 프로세스 전체에서 최적의 열 안정성을 보장합니다. 또한, 원자로는 내구성이 뛰어난 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 구성되며 디지털 제어판을 통해 쉽게 작동하도록 설계되었습니다. 0010-01286 원자로는 첨단 산업에서 박막 증착에 이상적인 선택입니다. 이 원자로는 높은 수율로 박막 증착을위한 신뢰할 수 있고 반복 가능한 공정을 제공합니다. 원자로 (Reactor) 는 고품질 물질로 구성되며 최적의 반응 과정에 대한 온도 및 가스 조건을 정확하게 제어합니다. 연동 안전 도구 (Interlock Safety Tool) 는 사용자 및 장치의 성능 및 안전성을 최적화합니다.
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