판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-00957 #293668144
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AMAT AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-00957 원자로는 반도체 공학의 열 처리에 사용되는 고급 장비입니다. 이 원자로는 단단계의 다이렉트 드라이브 (direct-drive) 설계로, 공정의 온도와 압력을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 원자로에는 방사선 차폐물 (radiation shield) 과 저항성 가열 (resistive heating) 로 구성된 2 개의 1 차 가열 요소에 의해 가열되는 출구 챔버 (exit chamber) 와 측면 벽 (sidwall) 과 챔버 중심의 전극 어셈블리 (electrrode assembly) 가 있습니다. 주요 가열 요소는 효율성을 최적화하기 위해 공간에 동일하게 분포되어 있습니다. 난로 (hearth) 라고도하는 반응 챔버 (reaction chamber) 는 의도 된 적용에 맞게 크기가 조정됩니다. 세라믹 절연과 향상된 반응 균일성을위한 열 전도성 라이너가 특징입니다. 또한 "챔버 '에는 적절 한 온도 를 유지 하면서 가열" 요소' 를 지지 하도록 설계 된 통합 히터 마운트 가 들어 있다. 게다가, "가스 '가 가열 원소 로부터 멀리 떨어져 있는 것 을 가리키는 역할 을 하는" 엑시트 채널' 이 있으며, 제품 을 위한 안전 한 출구 를 제공 한다. 원자로의 성능은 APPLIED MATERIALS 독점 전력 제어 기술 (APPLIED proprietary power control technology) 을 사용하여 교정되며, 이는 전체 반응 챔버에서 일관된 온도 프로파일을 유지하도록 특별히 설계되었습니다. 이를 통해 지정된 목표 온도 공차 내에서 정확한 온도 조절이 가능합니다. 또한 전원 제어 시스템 (Power Control System) 을 통해 여러 개의 독립적인 전원을 사용할 수 있으며, 특정 시스템 요구 사항에 따라 프로세스를 조정할 수 있습니다. 원자로는 비상 셧다운 시스템 (Emergency Shutdown Systems) 과 가스 센서 (Gas Sensor) 를 포함한 고급 안전 기능으로 설계되었습니다. 공정 "가스 '와 일부 공정 에서 필요 한 산소" 레벨' 을 온전 히 이용 하는 환경 에 사용 하도록 설계 되었다. 원자로 는 또한 견고 한 안전 장치 를 갖추었기 때문 에, 위험 한 대기 에 사용 하는 데 적합 하다. 전반적으로 AMAT 0010-00957 원자로는 매우 효율적이고 안정적인 열 처리 장비입니다. 정밀 반응 온도 (reaction temperature) 와 압력 제어 (pressure control) 를 제공하지만 유연성과 적응성을 통해 다양한 응용 프로그램에 대한 성공적인 결과를 보장합니다. 이 원자로가 제공하는 안전성 (Safety Features) 과 고성능 (High Performance) 은 반도체 처리에 이상적인 선택입니다.
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