판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-00745 #293654975

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-00745는 마이크로 전자 장치의 빠르고 높은 처리량 생산을 위해 설계된 반도체 원자로입니다. 확산 과정을 가속화하고 레이저 빔 가열로 어닐링을 할 수 있습니다. 원자로는 턴테이블의 대형 수냉식 노즐 어셈블리, 쿼츠 원자로 챔버, 고정 기판 홀더, RF 생성기, 위치 및 드라이브 메커니즘, 제어 인클로저 등 여러 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 노즐 어셈블리는 AMAT 0010-00745 원자로에서 가장 중요한 부분이며, 고정 노즐 슬리브로 둘러싸인 수냉식 코어를 포함합니다. 코어에는 인듐 기반 라이너, 2 개 또는 4 개의 부양 링, 배기 포트 및 입구 포트가 있습니다. 그것 은 "레이저 '광선 을 원자로 실 의 기판 으로 인도 하는 데 사용 된다. 석영 원자로 챔버 (quartz reactor chamber) 는 기판 홀더를 수용하고 레이저 빔 대상을 보유하는 가열되고 진공 밀봉 된 챔버입니다. 기판 홀더는 가열 요소가있는 구리 판으로 만들어집니다. 접시는 챔버 내에서 처리되는 동안 웨이퍼를 고정시킵니다. RF 생성기 (RF generator) 는 원자로 내에 고주파 필드를 만들어 기판의 가열을 조절하는 데 사용된다. 위치 지정 및 드라이브 메커니즘은 챔버 내에서 기판 및 노즐을 정확하게 배치하는 역할을 합니다. 제어 엔클로저에는 다른 컴포넌트의 작동을 모니터링하고 공정 매개변수 (process parameter) 를 적절히 조정하는 원자로 제어 모듈 (reactor's control module) 이 있습니다. 응용 재료 0010-00745 원자로는 고효율 확산 프로세스 및 어닐링을 위해 설계되었습니다. 수냉식 노즐은 기판에 균일 한 레이저 빔 (laser beam) 전력 분배를 가능하게하므로 고품질의 전자 기기 (electronic devices) 와 프로세스 시간이 단축됩니다. 또한, RF 발전기는 원자로 챔버 내 온도의 균일 성을 증가시키고, 공정의 정확한 제어를 허용하고, 긴 어닐링 시간을 필요로 하지 않는다. 또한, 위치 지정 (positioning) 및 드라이브 메커니즘 (drive mechanism) 은 챔버에 기판을 정확하게 배치하고 이동할 수 있으므로 다양한 기판에 적합합니다. 마지막으로, 제어 모듈은 여러 구성 요소를 모니터링하여 일관되고 최적화된 프로세스를 보장합니다. 전반적으로, 0010-00745 원자로는 마이크로 전자 장치 생산에 사용될 수있는 고급적이고 효율적인 반도체 도구입니다. 제조업체는 정확한 기판 포지셔닝, 온도의 균일성 향상, 균질한 레이저 빔 (laser beam) 분포 및 높은 처리량 (throughput) 과 같은 고급 기능을 활용하여 고품질 장치를 생산할 수 있습니다.