판매용 중고 AIXTRON XL #9363431

AIXTRON XL은 AIXTRON이 설계 및 제조 한 고온 금속 화학적 증기 증착 (MOCVD) 원자로입니다. 리서치 개발 (Research and Development) 과 광학 창, LED 부품, 태양 전지와 같은 박막 기술 응용 분야의 대용량 생산에 사용됩니다. XL은 특허를받은 3 구역 전자 빔 유도 열 처리 (EB-TP) 기술, 가스 전달 시스템 및 프로세스 제어 장치로 구성된 맞춤형 선형 소스 최적화 장비 (LSOS) 를 갖추고 있습니다. LSOS는 목표 영역의 전체 폭에 대해 정확한 온도 제어를 제공하며, 특허를받은 3 구역 EB-TP 기술은 성장 기판의 기판 영역에 걸쳐 높은 균일 한 온도를 제공합니다. 이 기계에는 또한 고정밀 로터리 증착실 (high-precision rotary deposition chamber) 이 포함되어 있으며, 이는 한 주기에서 최대 5 개의 다른 증착을 수행 할 수 있습니다. 이를 통해 AIXTRON XL 내부의 HI-VI P-doping, 저온 도핑 및 저온 강착이 모두 수행 될 수 있습니다. 습식 처리 기능을 통해 단일 프로세스 단계에서 에칭 (etching), 클리닝 (cleaning) 및 건조 (drying) 단계를 자동화하고 정밀 마스크 정렬 기술을 통해 기판의 최대 균일성을 보장합니다. XL은 산업 환경에서 사용할 수 있도록 향상된 안전, 품질, 안정성을 제공하는 견고한 디자인으로 구성되어 있습니다. 기본 제공되는 보호 속도 모니터 (Protective Rate Monitor) 와 데이터베이스 (Database) 를 통해 모든 중요한 프로세스 데이터를 모니터링하고 기록하여 품질 보장을 지원합니다. 다른 기능으로는 그래픽 사용자 인터페이스에서 쉽게 확인할 수 있는 순서 (sequences) 와 프로세스 매개변수 (process parameter) 설정이 있는 시각 형상 도구가 있습니다. AIXTRON XL (AIXTRON XL) 은 대량의 박막 재료 생산에 이상적인 선택이므로, 산업 환경에서 매력적이고 비용 효율적인 솔루션을 고려합니다. 또한 정확하고, 재현이 가능하며, 반복 가능한 결과를 얻을 수 있으며, 또한 한 Fabrication 프로세스에서 다른 Fabrication 프로세스로 신속하게 전환할 수 있습니다. 이 자산은 또한 여러 가지 고급 프로세스 제어 기능 (process control function) 과 장치 모니터링 기능을 갖추고 있습니다. 이 모든 특징은 다양한 응용 분야에 사용하기 위해 매우 다양한 원자로 (reactor) 입니다.