판매용 중고 AIXTRON VP508GFR #9401520

AIXTRON VP 508GFR은 마그네트론 스퍼터링을 기반으로하는 수직 클로즈 커플 링 콜드 월 에피 택시 원자로입니다. III-V 광전자 재료를 효율적으로 생산하도록 설계되었으며 2D 및 3D 장치 구조를 생성 할 수 있습니다. VP 508GFR 원자로에는 중간 크기의 터보 분자 펌프와 200mm 메인 챔버가 장착되어 있습니다. 주 챔버의 최대 작동 압력은 1 ~ 10E-1mbar이며, 기판 온도는 25 ° C ~ 500 ° C 사이에서 조정 될 수 있습니다. 원자로 바닥에는 유도 RF 발전기 (inductive RF generator) 가 장착되어 있으며, 평면 유도 소스를 사용하여 기판을 가열할 수 있습니다. 이 구조는 에피 택시 레이어의 균일 한 가열과 증착을 허용합니다. AIXTRON VP 508GFR은 스퍼터링 소스에 다양한 금속을 사용하며, 유도 결합 플라즈마 (ICP) 및 광방전 광방출 분광학 (GDOES) 소스를 선택하여 증착 매개변수를 정련합니다. 또한 도핑 레벨 (doping level) 과 밀도 (density) 와 같은 성장 매개변수를 정확하게 제어하기위한 가스 주입 시스템을 제공합니다. VP 508GFR은 원자로 조건에 쉽게 액세스 할 수있는 통합 소프트웨어 시스템으로 설계되었습니다. 또한 자동화된 레시피, 설정 (setup), 여러 사용자 정의 매개변수, 실험에 대한 원격 제어 액세스 등 다양한 멀티태스킹 기능을 갖춘 작업 환경을 제공합니다. AIXTRON VP 508GFR의 적용에는 광전자 재료, 에피 택시 재료 및 수직 공동 표면 방출 레이저 (VCSEL), PIN 유형 광 다이오드, 양자 캐스케이드 레이저 (QCL) 구조 및 VECSEL과 같은 레이어 구조가 포함됩니다. 광전자 응용에 대해 정확하고 일관된 증착 매개 변수가 필요한 사람들에게 이상적인 선택입니다.