판매용 중고 AIXTRON VP 2400HW #9269833
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판매
ID: 9269833
웨이퍼 크기: 3"
빈티지: 2012
SiC Reactor, 3"
Type: Modular CVD system
Gas handling: Electro polished (316) stainless steels tubing
Reactor: Electronic mass flow and pressure controllers
Heater: RF-lnduction heater 2x80 kW, 20-50 kHz
Maximum reactor temperature: 1600°C
MO Temperature control:
Recirculating controlled temperature baths
Accuracy: 0.05°C
Range: -10°C to +60°C
Mass flow control: Electronic mass flow controllers (HiTec)
Pressure control: MKS Baratron and valves
Back pressure controllers: HiTec
Power consumption: 22 kVA (Max)
Vacuum system:
EBARA ESA70WD Dry pump
Pressure sensor
Throttle valve
Pressure control
Vacuum valve
Cooling water system:
Digital flaw meters with data logging
Thermocouples for cooling water temperature monitoring
2012 vintage.
AIXTRON VP 2400HW는 화합물 및 금속-유기 반도체 재료 생산을 위해 특별히 설계된 원자로입니다. 수평 서셉터 디자인을 기반으로하며 2 "~ 8" 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 원자로 환경은 닫힌 루프 컴퓨터 제어 시스템 (closed loop computer control system) 에 의해 제어되며, 이를 통해 프로세스의 매개변수를 쉽게 모니터링, 측정 및 조정할 수 있습니다. 원자로는 Anderson 펌프, 반응 챔버 및 방열판으로 구성됩니다. "앤더슨 '" 펌프' 는 공정 에 필요 한 높은 진공 상태 를 조성 하는 데 도움 이 되며, 반응 "챔버 '에는 증발 하는 원천 물질 이 들어 있고 방열판 은 식는다. 챔버에는 3 개의 난방 구역 (서셉터, 측면 벽 및 챔버 바닥) 이 포함되어 있으며, 이는 원하는 온도를 정확하게 달성하기 위해 독립적으로 조정 될 수 있습니다. 원자로는 직류 (DC) 마그네트론 스퍼터링 기술의 원리를 사용하여 작동합니다. 이 방법은 동적 전기장을 사용하여 대상 물질을 향해 하전 입자 (이온) 를 가속화합니다. 이러한 대상 재료를 원자 화함으로써, AIXTRON VP 2400 HW는 재료 사이에 매우 강한 접착력을 생산할 수 있으며, 정밀한 균일성을 가진 재료 필름을 생산합니다. 원자로에는 공정 (process) 의 매개변수를 정확하게 제어하는 몇 가지 특징이 있습니다. 5 단계 시간 온도 프로그램을 통해 반응 온도 및 속도를 직접 제어 할 수 있습니다. 이 기능은 컴퓨터 레시피 (Computerized Recipe) 와 반복 가능한 프로세스와 결합하여 작업의 안전성과 일관성을 보장합니다. VP 2400HW (VP 2400HW) 에는 운용자가 실수로 반응에 사용 된 유해 물질에 노출되지 않도록 보호하는 안전 기능 (Safety Feature) 이 장착되어 있습니다. 안전 기능에는 안전 연동 시스템 (Safety Interlock System) 이 포함되며, 비상 사태의 경우 시스템을 종료하고, 가동 중 우발적 인 원자로 도어 개방을 방지하는 안전 셔터 (Safety Shutter) 가 포함됩니다. VP 2400 HW는 화합물 및 금속-유기 반도체 재료의 생산을위한 안정적이고 효율적인 원자로입니다. 컴퓨터 제어 환경, 온도 제어, 안전 (Safety) 기능을 통해 처리 재료를 안전하고 비용 효율적이며 반복 할 수 있습니다.
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