판매용 중고 AIXTRON TS #9363430

AIXTRON TS는 박막 증착을위한 예술 상용 CVD 원자로 장비의 상태입니다. AIXTRON GmbH에 의해 개발되었으며, 반도체 등급 박막을 입금하는 데 사용됩니다. TS 는 고객의 요구 사항에 따라 맞춤형으로 구성할 수 있는 모듈식 시스템입니다. 그것은 주로 유전체, 반도체 또는 금속 물질을 기판으로 증착시키는 데 사용됩니다. AIXTRON TS 원자로는 여러 가지 장점을 제공합니다. 필름 두께의 뛰어난 균일성을 제공합니다. 사용하기 쉽고, 다른 챔버 구성에 맞게 사용자 정의하기 쉽습니다. 옵션 저온 공정 챔버와 함께 사용할 수 있습니다. 또한 TS는 자동화 구성 요소 등과 같은 새로운 추가 기능으로 업그레이드 및 개조 할 수 있습니다. AIXTRON TS의 핵심은 독점 Showerhead 디자인입니다. 이 디자인은 균일 하고 높은 증착률 및 재생 가능한 프로세스를 보장합니다. Showerhead 는 다른 소스 압력 (Source Pressure) 으로 설정할 수 있으며, 고객 요구에 따라 소스 자료를 선택, 수정 및 재보정할 수 있습니다. 이 쇼어 헤드 (Showerhead) 는 가스의 흐름에서 좋은 균일성을 허용하며, 온도, 배경 압력, 챔버 온도에 관한 균일성을 제공하며 일관되고 안정적인 프로세스를 허용합니다. TS 에는 공정 "컴퓨터 '가 장착되어 있는데, 기판 온도, 챔버 압력, 소스 가스 입력 등 프로세스 매개 변수를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 이 프로세스 컴퓨터에는 프로세스 매개변수를 사용자 정의하고 조정하는 데 도움이 되는 전용 프로세스 소프트웨어 (process software) 가 포함되어 있습니다. 프로세스 소프트웨어에는 프로세스 드리프트 및 소스를 자동으로 수정할 수 있는 자동 교정 (auto-calibration) 기능도 포함되어 있습니다. AIXTRON TS는 또한 탁월한 안전 기능을 갖추고 있습니다. 박막 (Thin Film) 의 우발적 손상을 방지하기 위해 과압박 보호 기능이있는 비상 가스 차단 장치가 설치됩니다. 비상 사태의 경우 추가 경보기가 가청 경보를 울립니다. 이를 요약하기 위해, TS는 얇은 필름의 증착을 위해 설계된 모듈식, 신뢰성, 맞춤형 CVD 원자로 도구입니다. 이 제품은 다양한 CVD 프로세스에 적합한 우수한 툴로서,