판매용 중고 AIXTRON TS 19x2" #9386920
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AIXTRON TS 19x2는 반도체 생산에 사용하도록 설계된 화학 증기 증착 (CVD) 원자로입니다. 상단로드 된 쿼츠 튜브 (quartz tube), 원격 수동 리프트 (Remote Manual Lift) 및 이동식 난방 존 (Heating Zone) 을 통해 최적의 성능을 위해 원자로 매개변수를 조정하고 최적화 할 수 있습니다. AIXTRON TS 19x2에는 3 개의 가열 된 가스 입구 라인과 냉장 콘센트 라인이 포함됩니다. AIXTRON TS 19x2의 고급 제어 장비 (Advanced Control Equipment) 는 정밀 증기 위상 제어를 제공하여 사용자가 필름 증착 매개변수를 정확하게 제어하고 원자로 내부의 온도 프로파일을 수정할 수 있습니다. 또한, AIXTRON TS 19x2는 내장 기계 화학 모듈을 특징으로하며, 사용자는 증착 레시피를 온도, 압력 및 산소 수준과 같은 반응 조건과 결합 할 수 있습니다. 원자로에는 안전하고 안정적인 작동을 보장하기 위해 0 ~ 100% 에서 조절 가능한 3 개의 공정 가스 보안 밸브가 포함되어 있습니다. AIXTRON TS 19x2 원자로는 광범위한 안전 기능으로 설계되어, 성공적이고 안정적인 작동을 보장합니다. 원자로에는 가스 누출 모니터 (gas leak monitor) 가 포함되어 있는데, 이는 원자로 내 가스 또는 증기를 정상 작동 농도보다 낮게 감지하고 필요한 경우 시스템을 종료 할 수 있습니다. 또한, 원자로는 자동 압력 붕괴 모니터 (automatic pressure decay monitor) 를 특징으로하며, 이는 심각한 압력 변화를 감지하고 공정 가스 입구를 차단하여 유해 누출의 잠재적 위험을 줄일 수 있습니다. 또한, 압력 제어기 (pressure controller) 는 원자로 내에서 안정적인 작동 압력을 보장하고 안전 온도 제어기는 온도 변동을 제한합니다. AIXTRON TS 19x2 (AIXTRON TS 19x2) 원자로에는 고유한 최신 디자인이 있으며, 이를 통해 사용자는 프로세스 챔버에 쉽게 액세스할 수 있고 장치를 빠르게 설정할 수 있습니다. 또한 사용이 간편한 고급 그래픽 사용자 인터페이스 (Advanced to Use Graphics User Interface) 가 장착되어 있어 사용자에게 자세한 실시간 피드백과 화면 상의 지시를 제공합니다. 또한 AIXTRON TS 19x2 는 원격 액세스 설정 (Remote Access Setup) 및 진단 시스템 (Diagnostic Machine) 을 갖추고 있어 세계 어디에서나 배치 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있습니다. 전반적으로, AIXTRON TS 19x2는 안정적이고 안전한 원자로이며, 반도체 생산에서 최고의 품질 표준을 충족하도록 설계되었습니다. 다양한 안전 (Safety) 기능을 갖추고 프로세스 매개변수를 효과적으로 제어하는 한편, 사용자가 원자로 (Reactor) 를 원격으로 액세스하고 모니터링할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 디자인 덕분에 AIXTRON TS 19x2 원자로는 반도체 생산에서 안정적이고 효율적인 작동을 제공할 수 있습니다.
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