판매용 중고 AIXTRON Tricent #9222204

AIXTRON Tricent (AIXTRON Tricent) 는 오늘날 반도체 산업에 필요한 대량 증착을 위해 설계된 예술 증착 원자로의 상태입니다. 비용 및 시간을 줄이기 위해 설계된 트리센트 (Tricent) 는 통합 수직 시스템 (Unified Vertical System) 을 사용하여 증착 및 열 프로세스를 가장 효율적인 방식으로 제공합니다. AIXTRON Tricent의 내부 구조는 쿼츠 튜브 (quartz tube) 로 구성되며, 이는 원자로 챔버 역할을하며, 여러 가스 입구로 사용됩니다. "쿼츠 '관 에는 중앙 가열 요소 가 있는데, 그것 은 추가 보호 를 위한 절연 물질 로 둘러싸여 있다. 그 에 더하여, 온도 를 정확 하게 조절 하고 원하는 결과 를 내는 데 사용 되는 고급 온도 "컨트롤러 '가 있다. 정확한 온도를 보장하기 위해 모니터가 설치되어 실시간 피드백 (feedback) 및 제어 기능을 제공합니다. 트리센트 (Tricent) 의 주요 특징은 반응성이 높고 섬세한 재료를 모두 처리 할 수있는 기능입니다. PMS (Precise Modulated Source) 헤드와 HDS (Heavy Duty Source) 헤드 인 AIXTRON Tricent는 서로 다른 공정 화학 물질을 처리 할 수 있습니다. PMS 헤드는 질화물, 산화물, 폴리 실리콘과 같은 민감하고 반응성 물질로 작동하도록 설계되었으며, HDS 헤드는 금속, 합금, 폴리머와 같은 더 무거운 증착에 사용됩니다. 트리센트 (Tricent) 는 고정밀 플라즈마 소스를 장착하여 플라즈마 환경을 완전히 제어 할 수 있습니다. 압력, 흐름, 전원 등과 같은 Plasma 소스 매개변수를 조작하여 특정 애플리케이션에 최적화된 사용자 지정 프로세스를 생성할 수 있습니다. 또한, 패턴 화 된 웨이퍼 처리를 사용할 수 있으며, AIXTRON Tricent는 매우 정확하고 균일 한 증착을 수행 할 수 있습니다. 마지막으로, Tricent는 뛰어난 정확성과 반복 성을 위해 6 축 로봇 웨이퍼 처리 시스템을 갖추고 있습니다. 이 "로봇 '은 대규모" 웨이퍼' 를 처리 할 수 있어서 처리 시간 이 더 빠르며 수율 이 더 높다. 전반적으로 AIXTRON 트리센트 (AIXTRON Tricent) 는 가장 까다로운 산업 환경에서 최대의 생산성과 정확성을 제공하도록 설계된 고도의 증착로입니다. 고급 도구와 기술을 활용하는 트리센트 (Tricent) 는 고급 재료 처리를 위한 선택이 될 것입니다.