판매용 중고 AIXTRON Tricent #9202043

AIXTRON Tricent는 군용 등급의 고성능 반도체 에피 택시 원자로 및 유전체 증착 도구입니다. 고주파 HEMT (high electron mobility transistor) 및 기타 OLED 및 LED와 같은 고급 디스플레이 응용 프로그램을위한 epitaxial 층을 생성합니다. Tricent는 집중적 인 중대형 산업 운영을 위해 설계되었습니다. 처리량 증착 속도가 높으며, 로트 (lot) 간에 강력한 프로세스 반복 기능을 제공합니다. AIXTRON Tricent는 일반적으로 Rafoxide 또는 APCVD (대기 압력 화학 증착) 기술을 사용하는 내부 로로 구성됩니다. 추가 Susceptor 보울은 다양한 기판에 대한 유전체의 증착을 제공합니다. 수동 개입을 최소화하기 위한 자동 로드 잠금 장치 (Automated Load Lock), 환경 오염을 최소화하기 위한 밀폐형 핫 월 설계, 처리량 극대화를 위한 수평 장착 듀얼 암 (Dual Arm) 로봇 인터페이스 등이 장착되어 있습니다. Tricent는 전원 공급 장치 (Power Supply) 와 이온 플럭스 (Flux Flux) 를 조정하고 매우 깨끗하고 매우 순수한 증착 환경을 가능하게 할 수있는 플라즈마 소스로 설계되었습니다. 이것은 낮은 TID (Total ionizing dose) 가 필요한 도전적인 구조와 장치를 생산하는 데 적합한 도구입니다. 앞서 언급했듯이, AIXTRON Tricent는 반도체 산업에서 사용 가능한 가장 높은 증착율을 생산할 수 있습니다. 광범위한 증착 프로세스를 통해 고객은 종횡비 구조가 높고, 선 너비, 측면 벽 방향, 도핑 프로파일과 같은 복잡한 에칭 옵션을 제공합니다. Tricent 운영자 인터페이스는 프로세스 모니터링 및 제어를 위한 다양한 사용자 친화적 기능을 제공합니다. 또한, 이 시스템은 프로세스 매개변수를 정확하게 프로그래밍하고 현장 내 (in-situ) 필름 구성과 레이어 성능을 모니터링할 수 있는 다양한 제어 기능을 갖추고 있습니다. 일반적으로 AIXTRON Tricent는 최첨단 반도체 장치 제작을 수행하는 사람들에게 효율적이고 신뢰할 수있는 생산 도구입니다. TS (Direct Operation) 와 결합된 첨단 기술과 기능을 통해 Tricent는 효율성을 극대화하고 수율을 향상시키는 완벽한 선택이 가능합니다.