판매용 중고 AIXTRON Tricent #9199207

제조사
AIXTRON
모델
Tricent
ID: 9199207
빈티지: 2005
CVD System Cluster tool for wafer Handling system: BROOKS Gemini GX6000 High-k dielectric layers AVD System: Metallic nitride 2005 vintage.
AIXTRON Tricent는 AIXTRON이 개발 한 기압 화학 증기 증착 (AP-CVD) 원자로입니다. 이 도구는 사용자에게 나노 재료 (nanomaterials) 와 박막 증착 (thin film deposition) 을 위한 신뢰할 수 있는 고성능 플랫폼을 제공하도록 설계되었습니다. 다른 CVD 시스템과 달리 Tricent는 고급 인라인 (in-line) 설계를 통해 추가 프로세스나 장비와 쉽게 통합할 수 있습니다. 이 장비에는 세 가지 주요 구성 요소 (콜드 마운트 (Cold Mount), 핫 마운트 (Hot Mount) 및 노즐 (Nozzle)) 가 있으며 광범위한 프로세스 기능과 균일성을 제공하도록 설계되었습니다. AIXTRON Tricent의 차가운 마운트는 견고하고 신뢰할 수있는 3 구역 히터 시스템으로, 전체 기판에서 균일 한 온도 분포를 보장합니다. 또한, 콜드 마운트 (cold mount) 는 고급 가스 제어 및 퍼지 메커니즘을 특징으로하며, 이는 온도 조절과 프로세스 안정성을 모두 향상시킵니다. 트리센트 (Tricent) 의 핫 마운트는 고급 아크 플러그 (arc-plug) 설계를 특징으로하며, 이를 통해 사용자는 가로세로비가 가장 높은 재료를 배치 할 수 있습니다. 또한, 핫 마운트에는 최적화 된 가스 공급 장치 (gas supply unit) 가 있으며, 이는 처리 주기 내내 최적의 가스 흐름 속도를 보장합니다. 이 기계는 균질한 구조와 침착 된 층의 완벽한 접착을 제공하도록 설계되었습니다. 균일 한 박막 증착을 보장하기 위해 AIXTRON Tricent에는 매우 정확한 노즐이 장착되어 있습니다. 이 노즐은 장기 작동을 위해 설계되었으며, 안정적이고 재현 가능한 재료 방출을 보장합니다. 뿐 만 아니라, "노즐 '은 정밀 한 크기 의 방울 과 정해진 속도 를 생산 할 수 있으며, 이것 은 기판 에 균일 한" 필름' 증착 을 보장 해 준다. 전반적으로, Tricent는 나노 재료와 얇은 필름을 입금하기위한 매우 강력하고 다재다능한 플랫폼입니다. 뛰어난 접착력과 정밀도로 균일하게 두껍고 고품질의 레이어를 생산할 수 있습니다. 또한 고급 인라인 (in-line) 설계를 통해 추가 프로세스 및 장비와 쉽게 통합할 수 있습니다.
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