판매용 중고 AIXTRON R6 #9215060

AIXTRON R6은 독일 최고의 증착 시스템 제조업체 인 AIXTRON이 개발 한 mono-zone-arc Reactor입니다. 이 원자로는 유기 박막 및 저온 CVD 응용의 증착을 위해 설계되었습니다. 작동 용량이 500mm x 400mm 인 증착실, 둥근 내부 벽 디자인, 1 구역 아크 플라즈마 소스 및 듀얼 존 (Zone) 응용 프로그램을위한 최대 200W 전원이 특징입니다. 최대 600 ° C의 베이킹 온도로 20-480 ° C의 높은 온도 범위를 갖습니다. 이 원자로는 고성능 유전체 및 유기 반도체 필름 증착에 다양한 이점을 제공합니다. 큰 작업량은 다양한 모양과 크기의 기판 (기판) 을 최대 2 개까지 수용 할 수 있습니다. 이중 존 (Zone) 설정을 사용하여 증착 과정에서 효율적인 열 관리를 보장합니다. 이것은 원자로 챔버에서 열을 형성하는 것을 방지하고, 증착의 높은 균일성을 보장한다. 또한, 샘플 위에 위치한 원-존-아크 플라즈마 소스 (one-zone-arc plasma source) 는 밀도가 높은 균일 한 플라즈마 필드를 만듭니다. 이것은 비교적 높은 증착율로 큰 필름 두께를 달성하는 데 도움이됩니다. 또한 R6은 작동 및 유지 보수가 쉽습니다. 고급 진단 프로그램 (Advanced Diagnostics) 과 시각적 표시기 (Visual Indicator) 가 장착되어 있어 플라즈마 및 증착 과정을 손쉽게 모니터링할 수 있습니다. 더욱이, 원자로에는 모듈 식 디자인이 있어서 증착 시스템을 쉽게 바꾸고 유지 할 수 있습니다. 또한 Overvoltage Protection 및 Arc Detection과 같은 안전 기능도 갖추고 있습니다. 고급 기능으로 인해 AIXTRON R6은 OLED, 유기 박막 트랜지스터, 센서, 디스플레이 및 기타 유기 박막 장치의 증착에 이상적입니다. 상용 "기기 '의 생산 에 성공적 으로 사용 되어 왔으며, 유기" 필름' 의 부식 특성 과 구조 를 연구 하는 "프로젝트 '에도 사용 되어 왔다.