판매용 중고 AIXTRON LYNX3 #9158988

AIXTRON LYNX3는 최고 품질의 III-V 재료를 생산하도록 설계된 고급 III-V 에피 택시 원자로입니다. AIXTRON 산업 규모 300mm HDP-CVD 및 LPCVD 플랫폼을 기반으로하며 직경이 최대 200mm 인 기판 크기를 제공합니다. 고급 CVD 플랫폼은 온도가 낮고, 정밀하고, 처리량이 많은 프로세스를 제공하여 복합 반도체 장치 제작과 같은 애플리케이션에 적합합니다. LYNX3 원자로는 다양한 III-V 재료를 사용하여 단층, 다층 및 이종 구조를 성장시키도록 설계되었습니다. 독점적 인 MELD (Modulated Epitaxial Layer Deposition) 기술은 양자 점 및 양자 링과 같은 다중 성분 레이어의 정확한 저온 성장을 가능하게합니다. AIXTRON LYNX3의 고유 한 기능에는 고급 웨이퍼 정렬 및 프로파일링, 고급 온도 제어, 확장 특성 기능 등이 있습니다. 원자로의 작동 압력 범위는 넓으며, 0.01 ° C의 정확도로 고급 온도 조절이 가능합니다. 고급 웨이퍼 정렬 및 프로파일링 시스템은 X, Y 및 Z 축에서 정확한 웨이퍼 정렬을 제공합니다. 확장 가능한 특성 및 도량형 시스템은 두께, 굴절 지수 및 결정 구조를 결정할 수 있습니다. 원자로의 고급 SiNx 확산 Windows 및 Etching Windows는 효율적인 표면 이방성 (surface anisotropy) 및 결정 표면 특성을 가능하게하여 장치 성능을 높입니다. 플룸 내 산화 능력은 직접 산화 및 디지털 전송 층을 가능하게하며, 재생성이 높아지고 산화 매개변수에 대한 이해가 향상됩니다. 원자로는 또한 프로그래밍 가능한 셔터 제어를 특징으로하며, 실험을 반복하고 프로세스 최적화를 향상시킵니다. LYNX3 는 업계 사용자들의 구체적인 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었으며, 높은 수준의 확장성과 유연성을 제공합니다. 원자로 (Reactor) 는 고급 기능과 향상된 제어성을 갖춘 다중 계층 구조 (Multi-Layer Structure) 및 이종 (HeteroJunctions) 성장에 가장 적합하며, 가장 높은 정확도와 처리량을 제공합니다. 고급 CVD 플랫폼은 장치 성능 최적화를 위해 재현 가능하고 균일 한 다결정 특성을 보장합니다.