판매용 중고 AIXTRON LYNX2 #9130267

AIXTRON LYNX2는 다양한 기술 응용을위한 고품질 박막 재료를 증착하도록 설계된 최첨단 반도체 제조 원자로입니다. PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) 기술과 고효율 및 저비용 진공 증착을 결합한 일체형 원자로입니다. LYNX2는 패널, 웨이퍼, 또는 유연한 재료와 같은 넓은 영역 기판에서 증착 할 수 있습니다. AIXTRON LYNX2의 고성능 증착 프로세스는 자동화 된 프로세스 제어, 정밀 고수준 난방 능력, 모든 온도에서 일관된 프로세스 제어, 유지 관리 필름 균일성을 통해 달성됩니다. 이 프로세스는 로드 잠금 (Load Lock) 기능 (옵션) 으로 활성화되어 최소한의 작업으로 짧거나 긴 증착을 실행할 수 있습니다. 자동화된 제어 (automated control) 소프트웨어를 사용하면 프로세스 요구사항 (process requirements) 또는 재료 유형 (material type) 의 변경 사항에 따라 배치 프로세스 매개변수를 최소화하거나 수작업으로 처리할 수 있습니다. LYNX2의 설계에는 원자로 챔버 내부에 최적화 된 정전기와 자기장 (magnetic field) 이 포함되어 있으며, 플레이킹과 파괴를 최소화하여 균일성과 고품질 증착률을 보장합니다. AIXTRON LYNX2는 높은 처리량을 제공합니다. 즉, 넓은 지역에서 짧은 증착 시간이 가능합니다. 따라서 생산성, 안정성, 반복성이 향상되어 생산성 향상을 위한 만족도가 높아집니다. LYNX2 의 통합 프로세스 모니터링 (integrated process monitoring) 및 피드백 (feedback) 시스템은 증착 프로세스의 품질과 일관성에 대한 귀중한 통찰력을 제공합니다. 프로세스 제어 (process control) 기능을 사용하면 프로세스 매개변수를 쉽게 조정하여 모든 재료를 만족스러운 두께와 품질로 배치할 수 있습니다. AIXTRON 제어 기술은 과잉 또는 예치되지 않은 재료 레이어를 방지합니다. AIXTRON 자동 장애 진단 및 보고 시스템을 통해 개별 모듈을 쉽게 교체할 수 있으므로 MTBF (Mean Time Between Failures) 가 증가하고 AIXTRON LYNX2의 안정성과 성능이 더욱 향상됩니다. 유지 보수 경고 시스템 (Maintenance Alert System) 은 프로세스 장애 또는 하드웨어 오작동을 나타내며, 유연한 소프트웨어 아키텍처를 통해 자동으로 Note-Taking 및 Process 조정을 신속하고 효율적으로 수행할 수 있습니다. LYNX2 는 최첨단 원자로 (state-of-the-art reactor) 로서 다양한 산업에서 다양한 고품질의 비용 효율적인 증착 기술을 제공합니다. 자동 제어 시스템은 높은 처리량, 최소한의 유지 관리 요구 사항, 반복 가능한 필름 증착 결과를 보장합니다. 고급 정전기와 자기장은 높은 균일 성과 필름 품질을 보장합니다. 프로세스 모니터링 (process monitoring) 및 피드백 (feedback) 시스템은 증착 프로세스에 대한 귀중한 통찰력을 제공하며 필요한 경우 신속하게 변경할 수 있습니다. 고성능, 자동화된 프로세스, 저렴한 비용으로 AIXTRON LYNX2 가 반도체 제조에 필요한 선택이어야 합니다.