판매용 중고 AIXTRON LYNX-III #9067043

AIXTRON LYNX-III
제조사
AIXTRON
모델
LYNX-III
ID: 9067043
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2007
CVD system, 12", 2007 vintage.
AIXTRON LYNX-III 원자로는 생산 환경에서 빛을 조절하는 데 사용되는 도구입니다. 특히 LYNX-III는 고온 화학 증기 증착 (CVD) 응용을 위해 설계되었습니다. 이 제품은 넓은 면적의 균일 한 박막 (Thin Film) 제작을 위한 고급적이고 고효율적인 솔루션입니다. AIXTRON LYNX-III는 중간 배치, 병렬 반응 챔버이며, 뛰어난 온도 균일성과 출력 품질입니다. 저열 질량 설계로 발열 및 제어를 허용하는 반면, 우수한 재료 특성을 위해 고급 선형 RF 발전기 (Advanced Linear RF Generator) 를 사용합니다. LYNX-III 원자로에는 광원과 초점 평면 (plane of focus) 을 모두 조정하여 원하는 치료 균일성을 보장하는 다중 요소 광학 장비가 있습니다. 광학 부품은 필터 시스템 (filter system) 에 의해 보호되며, 이는 생산 된 박막 (thin film) 의 효율과 품질을 최적화하기 위해 들어오는 빛의 특정 파장을 흡수합니다. 추가 필터는 일반적으로 들어오는 태양 복사를 흡수하는 데 사용됩니다. AIXTRON LYNX-III 원자로의 최대 전력 등급은 8kW이며 액체, 초 임계 가스 및 플라즈마 형태로 소스 재료를 수용 할 수 있습니다. LYNX-III 원자로는 사용자 정의 가능한 유전체 및 열 특성을 특징으로하며 단일 빔 및 이중 빔 구성으로 작동 할 수 있습니다. 기판 온도의 그라디언트를 최소화하는 정밀한 광학 장치 (optical unit) 와 반응물 분포 네트워크 (reactant distribution network) 의 조합으로 기판 전체에 걸쳐 놀라운 균일성을 제공합니다. 또한 AIXTRON LYNX-III에는 긴급 키 스위치, 전원 차단, 온도 모니터링, 진단 LED (Diagnostic LED) 등 여러 가지 안전 기능이 장착되어 있어 운영자에게 잠재적 인 오작동을 경고할 수 있습니다. 결론적으로, LYNX-III는 고급 광학 머신과 선형 RF 생성기를 사용하여 최고의 효율성과 균일성을 얻기 위해 CVD 생산을위한 뛰어난 솔루션입니다. 그것 은 여러 가지 재료 에 잘 적응 할 수 있으며, 우월 한 유전체 및 열 (열적) 특성 을 제공 하고, 또한 수많은 안전 기능 을 제공 하여, 정확 하고 안전 한 제조 환경 을 제공 한다.
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