판매용 중고 AIXTRON IC2 Crius II #293799451

제조사
AIXTRON
모델
IC2 Crius II
ID: 293799451
빈티지: 2019
MOCVD System 2019 vintage.
AIXTRON IC2 Crius II는 화합물 반도체 재료 및 장치의 에피 택시 성장을 위해 설계된 최첨단 금속 유기 화학 증기 증착 (MOCVD) 원자로입니다. 성능, 확장성, 자동화에 중점을 둔 IC2 Crius II 는 반도체 업계의 생산성, 유연성, 효율성 측면에서 새로운 표준을 제시합니다. AIXTRON IC2 크리우스 II (Crius II) 는 고급 가스 상 전달 장비로, 프로세스 가스의 흐름 및 혼합을 정확하게 제어합니다. 이 시스템은 매우 균일하고 재현성이 뛰어난 고품질 박막 (Thin Film) 의 증착을 허용합니다 (대용량 기판에서도). 원자로의 수평 구성은 가스 상 (gas phase gradient) 을 최소화하고 웨이퍼 표면에서 효율적인 대량 운송을 가능하게함으로써 필름 균일성을 더욱 향상시킵니다. IC2 크리 우스 II (Crius II) 는 듀얼 샤프트 원자로 설계를 특징으로하며, 별도의 서셉터 및 쇼 헤드 회전 시스템을 통해 증착 동안 방사형 및 방위각 온도 구배를 독립적으로 제어 할 수 있습니다. 이 독특한 구성은 전체 웨이퍼 (높은 성장률) 에 걸친 필름 품질과 두께 균일성을 극대화합니다. 또한, 이중 샤프트 설계를 통해 신속한 웨이퍼 로딩 및 언로드를 지원하므로 다운타임이 줄어들고 전체 처리량이 늘어납니다. 고성능 옵토일렉트로닉 및 전자 장치에 대한 수요가 증가하기 위해 AIXTRON IC2 Crius II는 복잡한 다층 이종 구조, 양자 우물, 양자 도트 등 광범위한 프로세스 기능을 제공합니다. 원자로의 유연한 공정 제어 소프트웨어 (Flexible Process Control Software) 를 통해 사용자는 다양한 재료 시스템의 성장 조건을 최적화하여 맞춤형 전자 및 광학 특성을 갖춘 새로운 구조를 증착 할 수 있습니다. 자동화 및 생산성 측면에서 IC2 Crius II 는 레시피 개발, 유닛 모니터링, 유지 보수 작업을 간소화하는 포괄적인 소프트웨어 툴을 갖추고 있습니다. 원자로 사용자 친화적 인 인터페이스 (user-friendly interface) 는 프로세스 매개변수에 대한 실시간 피드백을 제공하여 운영자가 신속하게 문제를 진단하고 필요에 따라 조정할 수 있도록 합니다. 또한, AIXTRON IC2 Crius II는 클러스터 도구 구성에 완벽하게 통합되어 고급 반도체 장치의 처리량을 높일 수 있습니다. 결론적으로 IC2 Crius II는 MOCVD 기술의 상당한 발전을 대표하여 영화 품질, 균일성 및 프로세스 유연성에 대한 탁월한 제어를 제공합니다. AIXTRON IC2 크리우스 II (Crius II) 는 혁신적인 디자인, 정교한 가스상 전달 기계, 고급 자동화 기능을 통해 반도체 산업의 발전하는 요구를 충족시키고 차세대 전자 및 광전자 장치의 개발을 가능하게합니다.
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